This HTML5 document contains 48 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n10http://localhost/temp/predkladatel/
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n9http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n16http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n15http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010149%21RIV08-MSM-14310___/
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n6http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010149%21RIV08-MSM-14310___
rdf:type
n3:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Plasma potential, electron concentration and IED collected by grounded surface were measured in Ar and nitrogen capacitively coupled r.f. discharges. Langmuir probe and Balzers Plasma Process Monitor (PPM 421), oriented parallel to the movable electrodes allowing a perpendicular spatially resolved measurements. The asymmetry of capacitive coupling estimated from the plasma potential and d.c. self-bias increase for increasing power since the discharge extended towards the grounded PPM orifice, its tubular housing as well as chamber walls. The IEDs measured with PPM reflected the situation at the grounded electrode. It exhibited only one peak which was typically found for low voltage modulated r.f. sheaths. The mean energy of ions depends on their mean free paths. This can be explained by collisions in the sheath. The ion mean energies decreased towards the grounded electrodes in agreement with the plasma potential. The ion and electron concentrations showed similar profiles. Koncentrace elektronů, energie elektronů, plazmový potenciál a rozdělovací funkce energie iontů, v argonu a dusíku. Byla použita Langmuirova sonda a PPM Balzers. Oba diagnostické přístroje byly umístěny paraleně s rovinou elektrod. Pohyblivé elektrody umožňují získat prostorové rozložení parametrů mezi elektrodami. Rozdělovací funkce energie iontu je za vysokých výkonu stejná jako pro zemněnou elektrodu. Projevuje se zde jeden intenzivní pík typický pro stěnové vrstvy u elektrod s malou amplitudou. Střední energie Ar+ a N2+ iontů je zhruba 92% energie odpovídající plazmovému potenciálu. Objevuje se nízkoenergetický pás. Z toho usuzujeme na srážky ve stěnové vrstvě, které nejsou pozorovány pro N+ ionty. Průběh střední energie iontů je ve shodě s průběhem plazmového potenciálu. Koncentrace elektronů a iontů mají stejný profil. Asymetrie výboje ověřována z poměru ploch elektrod zízkaných z plazmového potenciálu a stejnosměrného předpětí na základě několika modelů. Pozorována výkonová změna tohoto paramet Plasma potential, electron concentration and IED collected by grounded surface were measured in Ar and nitrogen capacitively coupled r.f. discharges. Langmuir probe and Balzers Plasma Process Monitor (PPM 421), oriented parallel to the movable electrodes allowing a perpendicular spatially resolved measurements. The asymmetry of capacitive coupling estimated from the plasma potential and d.c. self-bias increase for increasing power since the discharge extended towards the grounded PPM orifice, its tubular housing as well as chamber walls. The IEDs measured with PPM reflected the situation at the grounded electrode. It exhibited only one peak which was typically found for low voltage modulated r.f. sheaths. The mean energy of ions depends on their mean free paths. This can be explained by collisions in the sheath. The ion mean energies decreased towards the grounded electrodes in agreement with the plasma potential. The ion and electron concentrations showed similar profiles.
dcterms:title
Spatially resolved measurements in r.f. capacitive discharges in argon and nitrogen Spatially resolved measurements in r.f. capacitive discharges in argon and nitrogen Prostorově rozlišené měření v rf kapacitním výboji v argonu a dusíku
skos:prefLabel
Prostorově rozlišené měření v rf kapacitním výboji v argonu a dusíku Spatially resolved measurements in r.f. capacitive discharges in argon and nitrogen Spatially resolved measurements in r.f. capacitive discharges in argon and nitrogen
skos:notation
RIV/00216224:14310/04:00010149!RIV08-MSM-14310___
n5:strany
592 - 598
n5:aktivita
n13:Z n13:P
n5:aktivity
P(ME 489), P(OC 527.20), Z(MSM 143100003)
n5:cisloPeriodika
Suppl. C
n5:dodaniDat
n6:2008
n5:domaciTvurceVysledku
n9:4205448 n9:4346610 n9:7444303
n5:druhVysledku
n19:J
n5:duvernostUdaju
n12:S
n5:entitaPredkladatele
n15:predkladatel
n5:idSjednocenehoVysledku
587288
n5:idVysledku
RIV/00216224:14310/04:00010149
n5:jazykVysledku
n17:eng
n5:klicovaSlova
r.f. capacitive discharge; ion energy distribution; electron energy distribution
n5:klicoveSlovo
n18:ion%20energy%20distribution n18:r.f.%20capacitive%20discharge n18:electron%20energy%20distribution
n5:kodStatuVydavatele
CZ - Česká republika
n5:kontrolniKodProRIV
[A40A8D48E9A0]
n5:nazevZdroje
Czech. J. Phys.
n5:obor
n8:BL
n5:pocetDomacichTvurcuVysledku
3
n5:pocetTvurcuVysledku
3
n5:projekt
n11:OC%20527.20 n11:ME%20489
n5:rokUplatneniVysledku
n6:2004
n5:svazekPeriodika
54/2004
n5:tvurceVysledku
Janča, Jan Zajíčková, Lenka Šmíd, Radek
n5:zamer
n16:MSM%20143100003
s:issn
0011-4626
s:numberOfPages
7
n10:organizacniJednotka
14310