This HTML5 document contains 45 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/typPojektu/
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/druhSouteze/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/zivotniCyklusProjektu/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/hodnoceniProjektu/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n4http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/LD12002/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n9http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/kategorie/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/duvernostUdaju/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/obor/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/fazeProjektu/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/soutez/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/statusZobrazovaneFaze/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/aktivita/
n16http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:LD12002
rdf:type
n21:Projekt
rdfs:seeAlso
http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=LD12002
dcterms:description
The main objective of the proposed project is to design and optimize a new hybrid system for HiPIMS deposition of nanostructured perovskite oxides PbZrxTi1-xO3 (PZT) working with high power delivered into the plasma during short time period. The main goal of the project will be research of various combinations of driving discharge pulse generators in parallel connection and working at low (10-1000 Hz) and high (50-400 kHz) frequencies. Another objective of the research will be different combinations of plasma sources such as planar magnetron and plasma jet (operating with hollow cathode) working in HiPIMS mode. The aim therefore is to find such conditions in hybrid systems enabling a deposition of sufficiently homogeneous nanostructured PZT thin films on metal or dielectric substrates of desired structure and stoichiometry and of the highest deposition rate. The aim are related to finding of optimal deposition conditions of hybrid HiPIMS system by using sophisticated plasma diagnostics methods. Hlavním cílem navrhovaného projektu je konstrukce a optimalizace nového hybridního HiPIMS systému pro depozice nanostrukturovaných perovskitových oxidů PbZrxTi1-xO3 (PZT) pracujícího s vysokým výkonem v krátkém časovém pulzu plazmatu. Hlavním cílem projektu bude výzkum různých kombinací buzení výboje paralelním zapojením pulzních generátorů pracujících na nízkých (10-1000 Hz) a vysokých (50-400 kHz) pulzních frekvencích. Dalším cílem pak bude výzkum různých kombinací plazmových zdrojů jako je planární magnetron a plazmová tryska (pracující s dutou katodou a proudícím plynem) pracujících v HiPIMS módu. Cílem tedy bude nalézt takové podmínky hybridních systémů, umožňující deponovat dostatečně homogenní nanostrukturované tenké vrstvy PZT na kovové nebo dielektrické substráty požadované struktury a stechiometrie co nejvyšší depoziční rychlostí. S tím souvisí nalezení optimálních depozičních podmínek hybridního HiPIMS systému pomocí sofistikovaných diagnostických metod plazmatu.
dcterms:title
Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev
skos:notation
LD12002
n3:aktivita
n17:LD
n3:celkovaStatniPodpora
n4:celkovaStatniPodpora
n3:celkoveNaklady
n4:celkoveNaklady
n3:datumDodatniDoRIV
2014-06-30+02:00
n3:druhSouteze
n20:VS
n3:duvernostUdaju
n19:C
n3:fazeProjektu
n7:100737445
n3:hlavniObor
n13:BL
n3:hodnoceniProjektu
n11:V
n3:kategorie
n8:ZV
n3:klicovaSlova
perovskite oxide; magnetron; HIPIMS; hollow cathode; nanostructured films; low-temperature plasma; pulsed dc plasma; plasma diagnostics
n3:partnetrHlavni
n12:ico%3A68378271
n3:pocetKoordinujicichPrijemcu
0
n3:pocetPrijemcu
1
n3:pocetSpoluPrijemcu
0
n3:pocetVysledkuRIV
6
n3:pocetZverejnenychVysledkuVRIV
6
n3:posledniUvolneniVMinulemRoce
2013-02-25+01:00
n3:prideleniPodpory
n9:MSMT-7027%2F2012-36
n3:sberDatUcastniciPoslednihoRoku
n16:2013
n3:sberDatUdajeProjZameru
n16:2014
n3:soutez
n18:SMSM2012LD2
n3:statusZobrazovaneFaze
n10:DUU
n3:typPojektu
n14:P
n3:ukonceniReseni
2013-06-30+02:00
n3:vedlejsiObor
n13:JA n13:BM
n3:zahajeniReseni
2012-03-01+01:00
n3:zhodnoceni+vysledku+projektu+dodavatelem
V rámci řešeného projektu byl realizován hybridní HiPIMS depoziční systém pomocí kombinace MF pulzního výboje nebo ECWR výboje. Hybridní systém byl úspěšně diagnostikován metodami nízkoteplotní diagnostiky plazmatu, optimalizován pro depozice oxidových vrstev různých materiálů. Optimalizovaný hybridní systém může zásadně ovlivnit krystalovou strukturu vrstvy. The hybrid HiPIMS deposition system using a combination of MF pulsed discharge or ECWR discharge was implemented within the project. The system has been successfully diagnosed with low-temperature plasma diagnostics techniques and optimized for the deposition of oxide layers. First deposition experiments showed that the optimized system may significantly affect the crystal structure of the films.
n3:zivotniCyklusProjektu
n5:ZKU
n3:klicoveSlovo
perovskite oxide low-temperature plasma HIPIMS hollow cathode magnetron nanostructured films pulsed dc plasma