This HTML5 document contains 41 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/druhSouteze/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/zivotniCyklusProjektu/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/typPojektu/
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/hodnoceniProjektu/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n15http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/kategorie/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/duvernostUdaju/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/obor/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/fazeProjektu/
n13http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/KJB1010302/
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/soutez/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/statusZobrazovaneFaze/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/
n19http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/aktivita/
n6http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:KJB1010302
rdf:type
n20:Projekt
rdfs:seeAlso
http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=KJB1010302
dcterms:description
The aim of the project will be investigation of the low pressure multi- plasma jet sputtering system used for the temperature deposition of thin film perovskites structures as PZT (Pb1-xZrxTiO3), Sr2 MoFeO6, KNbO3 and KTaO3. The main target will be to obtain those films on polymer and plastic substrates. Properties of deposited films as ferroelectric behavior, structure, chemical composition, density of defects, optical properties etc. will be studied and correlated with the configuration of the multi-plasma jet system and properties of reactive plasma. Reactive sputtering of the nozzles working as hollow cathodes will be used for the deposition process. Radio-frequency excitation of high density hollow cathode jets will be used. Furthermore direct current plasma excitation in the case of conductive nozzles will be studied as well. In situ time resolved emission spectroscopy and fast RF compensated Langmuir probe system will be used for study of plasma parameters. Cílem navrhovaného projektu bude studium nízkotlakého plazmatického vícetryskového naprašovacího systému, který bude použit pro nízkoteplotní depozici tenkých vrstev perovskitů (PZT(Pb1-xZrxTiO3),SrMoFeO6,KNbO3 a KTaO3. Hlavní cíl bude depozice těchto typů vrstev a polymerní a plastové substráty. Na deponovaných vrstvách budou zkoumány feroelektrické vlastnosti, struktura, chemické složení, hustota defektů, optické vlastnosti atd. Tyto parametry budou korelovány s různými konfiguracemi vícetryskového systému a parametry reaktivního plazmatu. Reaktivní rozprašování trysek pracujících jako duté katody bude využito pro depoziční proces. Výboj v dutých katodách bude generován pomocí vysokofrekvenčního vykonového zdroje. V případě vodivých dutých katod bude studováno navíc stejnosměrné buzení výboje v duté katodě. Pro diagnostiku plazmatu, která bude prováděna přímo při depozičním procesu bude použita časově rozlišená emisní spektroskopie a rychlá RF kompenzovaná Langmuirova sonda.
dcterms:title
Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films Studium vícetryskového systému s plazmovými kanály a dutými katodami pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev
skos:notation
KJB1010302
n3:aktivita
n19:KJ
n3:celkovaStatniPodpora
n13:celkovaStatniPodpora
n3:celkoveNaklady
n13:celkoveNaklady
n3:datumDodatniDoRIV
2014-02-12+01:00
n3:druhSouteze
n8:VS
n3:duvernostUdaju
n11:S
n3:fazeProjektu
n4:33612715
n3:hlavniObor
n7:BL
n3:hodnoceniProjektu
n17:U
n3:kategorie
n16:ZV
n3:klicovaSlova
hollow cathode; plasma jet; ferroelectric thin films; reactive sputtering; Langmuir probe; emission spectroscopy
n3:partnetrHlavni
n15:ico%3A68378271
n3:pocetKoordinujicichPrijemcu
0
n3:pocetPrijemcu
1
n3:pocetSpoluPrijemcu
0
n3:pocetVysledkuRIV
6
n3:pocetZverejnenychVysledkuVRIV
6
n3:rokUkonceniPodpory
n6:2005
n3:rokZahajeniPodpory
n6:2003
n3:sberDatUcastniciPoslednihoRoku
n6:2006
n3:sberDatUdajeProjZameru
n6:2006
n3:soutez
n12:SAV02003-XJ
n3:statusZobrazovaneFaze
n10:DUU
n3:typPojektu
n5:P
n3:vedlejsiObor
n7:JB n7:BH
n3:zhodnoceni+vysledku+projektu+dodavatelem
Multi-plasma jet system with hollow cathodes was investigated for low temperature deposition of perovskite thin films. PZT films were deposited by this system on polymer substrate. Furthermore successful deposition of perovskite STO, BTO and BSTO films. Tryskový systém s dutými katodami byl zkoumán pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev. Pomocí tryskového systému byly deponovány PZT vrstvy na polymerové substráty a dále pak byla provedena úspěšná depozice perovskitů STO, BTO a BSTO.
n3:zivotniCyklusProjektu
n14:ZBKU
n3:klicoveSlovo
plasma jet ferroelectric thin films hollow cathode reactive sputtering Langmuir probe