This HTML5 document contains 43 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/zivotniCyklusProjektu/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/typPojektu/
n6http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/druhSouteze/
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/hodnoceniProjektu/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n10http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/
n8http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/kategorie/
n22http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/duvernostUdaju/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/obor/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/fazeProjektu/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/KJB100100805/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/soutez/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/statusZobrazovaneFaze/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/
n20http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/aktivita/
n5http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:KJB100100805
rdf:type
n16:Projekt
rdfs:seeAlso
http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=KJB100100805
dcterms:description
The proposed project sets a target to carry out a diagnostics of several discharges generated at just slightly reduced or even at atmospheric pressure. These plasmatic systems working with flowing channels - plasma jets were developed recently and succesfully tested in section of Optics of Institute of Physics ASCR. The plasma is generated by means of DC, RF (13.56 MHz) or microwave (2.45 GHz) discharge and/or combination of those. These systems were already applied for low-temperature deposition of , CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx thin films and further oxides at sample material surfaces, e.g. polymers. For broader application of those systems the systematic in-situ diagnostic of generated plasma seems to be necessary. The proposed project envisages development of time-resolved calorimetric and Langmuir probe, laser absorption and emission spectroscopy and development of basic model describing a energy transfer from plasma on a substrate. Navrhovaný projekt si klade za cíl provádět diagnostiku několika zdrojů plazmatu generovaných za sníženého, případně i atmosférického tlaku. Tyto plazmatické systémy pracující s proudícími kanály - plazmatické trysky byly nedávno vyvinuty a úspěšně vyzkoušeny v sekci Optika Fzú AV ČR. Plasma v nich je generováno pomocí stejnosměrného, vysokofrekvenčního (13,56 MHz) nebo mikrovlnného (2,45 GHz) výboje, případně jejich kombinacemi. Tyto systémy byly již úspěšně použity pro nízkoteplotní vytváření vrstev TiNx, CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx a dalších oxidů na površích různých materiálů, například polymerů. Pro širší uplatnění těchto systémů je však nutné provést systematickou in-situ diagnostiku generovaného plazmatu s cílem optimalizovat podmínky nanášení vrstev. Předpokládá se vývoj a použití časově rozlišené kalorimetrické a Langmuirovy sondy, laserové absorpční a emisní spektroskopie a vytvoření základního modelu přenosu energie z výboje do substrátu.
dcterms:title
Diagnostika pulzního plazmatu generovaného v systémech s plasmovými kanály určených pro technologické aplikace depozice tenkých vrstev. A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition.
skos:notation
KJB100100805
n4:aktivita
n20:KJ
n4:celkovaStatniPodpora
n17:celkovaStatniPodpora
n4:celkoveNaklady
n17:celkoveNaklady
n4:datumDodatniDoRIV
2011-06-14+02:00
n4:druhSouteze
n6:VS
n4:duvernostUdaju
n22:S
n4:fazeProjektu
n11:82504636
n4:hlavniObor
n21:BL
n4:hodnoceniProjektu
n15:V
n4:kategorie
n12:ZV
n4:klicovaSlova
hollow cathode; plasma jet; calorimeter probe; Langmuir probe; emisive spectroscopy; laser absorption spectroscopy; time-resolved; thin film
n4:partnetrHlavni
n8:ico%3A68378271
n4:pocetKoordinujicichPrijemcu
0
n4:pocetPrijemcu
1
n4:pocetSpoluPrijemcu
0
n4:pocetVysledkuRIV
12
n4:pocetZverejnenychVysledkuVRIV
12
n4:posledniUvolneniVMinulemRoce
2010-03-09+01:00
n4:prideleniPodpory
n10:KJB100100805
n4:sberDatUcastniciPoslednihoRoku
n5:2010
n4:sberDatUdajeProjZameru
n5:2011
n4:soutez
n18:SAV02008-B
n4:statusZobrazovaneFaze
n14:DUU
n4:typPojektu
n19:P
n4:ukonceniReseni
2010-12-31+01:00
n4:zahajeniReseni
2008-01-01+01:00
n4:zhodnoceni+vysledku+projektu+dodavatelem
Plasma-jet and planar magnetron deposition systems were characterised by several diagnostics methods. One was showed that pulsing of plasma has significant influence on thin film properties. Further both depositing systems demonstrate different behaviour Tryskové a magnetronové pulzní depoziční systémy byly charakterizovány pomocí několika diagnostických metod. Bylo ukázano, že pulzní modulace má významný vliv na vlastnosti připravovaných vrstev a navíc oba depoziční systémy vykazují rozdílné chování.
n4:zivotniCyklusProjektu
n9:ZBKU
n4:klicoveSlovo
Langmuir probe time-resolved emisive spectroscopy laser absorption spectroscopy calorimeter probe plasma jet hollow cathode