This HTML5 document contains 42 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/druhSouteze/
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/typPojektu/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/zivotniCyklusProjektu/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/hodnoceniProjektu/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n20http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/kategorie/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/duvernostUdaju/
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F09%2FP159/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/fazeProjektu/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/obor/
n8http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/soutez/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/statusZobrazovaneFaze/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/
n15http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/aktivita/

Statements

Subject Item
n2:GP202%2F09%2FP159
rdf:type
n16:Projekt
rdfs:seeAlso
http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GP202/09/P159
dcterms:description
Cílem projektu bude využití několika diagnostických metod plazmatu (Langmuirova sonda, kalorimetrická sonda, energetický analyzátor iontu, laserova absorpční spektroskopie, optická emisní spektroskopie) za účelem srovnávacího výzkumu vlastností technologických plazmatických depozičních systémů. The essence of suggested project is a purposeful investigation of plasma parameters in the low-pressure technological plasma reactors utilized for deposition of thin films. In the present time, there are several wholly different plasma sources - a planar magnetron, a plasma jet with hollow cathode, a microwave surfatron - dedicated for preparation of specific thin films and coatings, which are successfully used in the division of Optics of the Institute of Physics of the AS CR for deposition of thin films of perovskite oxides (STO, BTO, BSTO, PZT), TiOx, piezoelectric ZnO etc. on substrates made of various materials, e.g. polymers. A previous research showed that properties of thin films could be radically different if prepared by means of above mentioned plasma deposition systems. Therefore, it is desirable to investigate in detail attributes of these discharges and to carry out a basic comparative study of the plasma parameters, total energy flux density on a substrate and the properties of deposited thin films among these plasma sources. Then acquired knowledge should enable us partly to understand plasma properties of different plasma sources and to optimize the deposition process in the better way for concrete thin films by choosing of  appropriate plasma source or their mutual combination.
dcterms:title
An investigation of low-temperature plasma in systems of a planar magnetron, in systems with hollow cathodes and a microwave surfatron Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu
skos:notation
GP202/09/P159
n3:aktivita
n6:GP
n3:celkovaStatniPodpora
n14:celkovaStatniPodpora
n3:celkoveNaklady
n14:celkoveNaklady
n3:datumDodatniDoRIV
2015-03-02+01:00
n3:druhSouteze
n13:VS
n3:duvernostUdaju
n19:S
n3:fazeProjektu
n10:91732734
n3:hlavniObor
n5:BL
n3:hodnoceniProjektu
n4:V
n3:kategorie
n7:ZV
n3:klicovaSlova
magnetron; dutá katoda; surfatron; plazmový kanál; pulzně generovaný výboj; tenké vrstvy; technologie
n3:partnetrHlavni
n20:ico%3A68378271
n3:pocetKoordinujicichPrijemcu
0
n3:pocetPrijemcu
1
n3:pocetSpoluPrijemcu
0
n3:pocetVysledkuRIV
11
n3:pocetZverejnenychVysledkuVRIV
11
n3:posledniUvolneniVMinulemRoce
2011-04-16+02:00
n3:prideleniPodpory
n18:202%2F09%2FP159
n3:sberDatUcastniciPoslednihoRoku
n15:2011
n3:sberDatUdajeProjZameru
n15:2012
n3:soutez
n8:SGA02009GA1PD
n3:statusZobrazovaneFaze
n9:DUU
n3:typPojektu
n21:P
n3:ukonceniReseni
2011-12-31+01:00
n3:zahajeniReseni
2009-01-01+01:00
n3:zhodnoceni+vysledku+projektu+dodavatelem
Řešení projektu proběhlo na vynikající úrovni, a to jak z hlediska odborného tak i z hlediska čerpání finančních prostředků. The project was excellent, both in terms of expertise and in terms of disbursement of funds.
n3:zivotniCyklusProjektu
n12:ZBKU
n3:klicoveSlovo
surfatron tenké vrstvy pulzně generovaný výboj magnetron plazmový kanál dutá katoda