This HTML5 document contains 37 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/typPojektu/
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/zivotniCyklusProjektu/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/druhSouteze/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/hodnoceniProjektu/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n10http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/kategorie/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/duvernostUdaju/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/fazeProjektu/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/obor/
n8http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/soutez/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/statusZobrazovaneFaze/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F06%2F0216/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/
n9http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/
n5http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/aktivita/

Statements

Subject Item
n2:GA202%2F06%2F0216
rdf:type
n21:Projekt
rdfs:seeAlso
http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA202/06/0216
dcterms:description
The hybrid laser deposition method (H-PLD) of thin layers is a new deposition technology combined the pulsed laser deposition with applied discharges or sources of plasma (DC, RF, hollow cathode discharges, combination with magnetrone, etc.). The H-PLD method is already well-understood and provides thin layers with the required quality. However, the basic physical and chemical processes constituting the described process have not been fully elucidated. The goal is to employ spectroscopic methods to obtain basic information on the presence of reactive molecules in the H-PLD plasma and on the dynamics of propagating of the plasma plume at medium pressures (units to hundreds of Pa) and to further improve the method on the basis of the information obtained. The main target is a more detailed understanding of chemical and physical phenomena in the H-PLD process, monitoring of the formation of chemical intermediates and an attempt at detection and spectroscopic identification of species that have Metodika hybridní laserové depozice (H-PLD) tenkých vrstev je novou depoziční technikou kombinující pulzní laserovou depozici s dalšími výboji či zdroji plazmatu (DC a RF výboj, výboj v duté katodě, kombinace s magnetronem, aj.). V některých případech jedepoziční část této technologie zvládnuta a poskytuje speciální tenké vrstvy požadovaných kvalit. Základní fyzikální a chemické děje tvořící popisovaný proces však nejsou dosud zcela objasněny. Cílem předkládaného projektu je pomocí spektroskopických a dalších metod získat základní informace o přítomnosti reaktivních molekul (specií) v H-PLD plazmatu a dynamice šíření plazmatického oblaku při středních tlacích (jednotky až stovky Pa) a na základě získaných informací metodu depozice dále zdokonalit. Hlavním cílem je podrobnější pochopení chemických a fyzikálních jevů v H-PLD procesu, sledování vzniku chemických meziproduktů a pokus o detekci a spektroskopickou identifikaci dosud experimentálně nepozorovaných specií např. karbidů a nitridů
dcterms:title
Study of plasma formed in hybrid arrangement of pulsed laser deposition Studium plazmatu vznikajícího při hybridní modifikaci pulzní laserové depozice
skos:notation
GA202/06/0216
n3:aktivita
n5:GA
n3:celkovaStatniPodpora
n6:celkovaStatniPodpora
n3:celkoveNaklady
n6:celkoveNaklady
n3:datumDodatniDoRIV
2009-10-22+02:00
n3:druhSouteze
n14:VS
n3:duvernostUdaju
n19:S
n3:fazeProjektu
n15:68674230
n3:hlavniObor
n11:BL
n3:hodnoceniProjektu
n16:V
n3:kategorie
n13:ZV
n3:klicovaSlova
plasma; pulsed laser deposition
n3:partnetrHlavni
n18:orjk%3A11320
n3:pocetKoordinujicichPrijemcu
0
n3:pocetPrijemcu
1
n3:pocetSpoluPrijemcu
2
n3:pocetVysledkuRIV
22
n3:pocetZverejnenychVysledkuVRIV
22
n3:posledniUvolneniVMinulemRoce
2008-04-25+02:00
n3:prideleniPodpory
n10:202%2F06%2F0216
n3:sberDatUcastniciPoslednihoRoku
n9:2008
n3:sberDatUdajeProjZameru
n9:2009
n3:soutez
n8:SGA02006GA-ST
n3:statusZobrazovaneFaze
n4:DUU
n3:typPojektu
n17:P
n3:ukonceniReseni
2008-12-31+01:00
n3:zahajeniReseni
2006-01-01+01:00
n3:zhodnoceni+vysledku+projektu+dodavatelem
Hlavním účelem projektu bylo podrobné pochopení fyzikálně-chemických dějů v H-PLD procesu (Hybridní pulzní laserová depozice), sledování meziproduktů děje a s tím související spektroskopická identifikace dosud experimentálně nepozorovaných spécií. Součas The main purpose of the Project was the detailed understanding of the physical-chemistry phenomena of the Hybrid pulsed laser deposition process, the investigation of the interlude products and consequent spectroscopic identification of possible new spec
n3:zivotniCyklusProjektu
n20:ZBKU
n3:klicoveSlovo
plasma