This HTML5 document contains 35 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/zivotniCyklusProjektu/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/typPojektu/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/druhSouteze/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/hodnoceniProjektu/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/kategorie/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/duvernostUdaju/
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/fazeProjektu/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/obor/
n15http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/soutez/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/statusZobrazovaneFaze/
n7http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA102%2F05%2F2325/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/
n18http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/
n4http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/aktivita/

Statements

Subject Item
n2:GA102%2F05%2F2325
rdf:type
n16:Projekt
rdfs:seeAlso
http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA102/05/2325
dcterms:description
Stávající systém elektronového litografii BS 600 má mezní rozlišení 0.1 mikronu. V poslední době se objevila řada požadavků na realizaci struktur s lepším rozlišením. Cílem projektu je studium realizace struktur s rozlišením lepším než 100 nanometrů. Přiřešení je nutno brát v úvahu jednak úpravu vlastního litografického systému a jednak technologické požadavky vyplývajícíz realizace struktur s tímto velkým rozlišením. Výsledkem projektu by měly být postupy a techniky pro realizaci nanostruktur a vzorové struktury připravené v tomto rozlišení. Actual electron-beam lithographic system BS 600 works with the limit resolution of 0.1 microns. Recently,we have received a couple of requirements for production of structures with better resolution.The aim of this project is to study a preparation of structures with the resolution below 100 nanometers. Thesolution has to address both the system part of the lithograph and the technological tissues concerning such a high resolution. As a result, nanostructures with extremely high resolution will be
dcterms:title
Electron-beam lithography for preparation of nanostructures Elektronová litografie pro přípravu nanostruktur
skos:notation
GA102/05/2325
n3:aktivita
n4:GA
n3:celkovaStatniPodpora
n7:celkovaStatniPodpora
n3:celkoveNaklady
n7:celkoveNaklady
n3:datumDodatniDoRIV
2007-10-16+02:00
n3:druhSouteze
n8:VS
n3:duvernostUdaju
n10:S
n3:fazeProjektu
n21:2311249
n3:hlavniObor
n12:JA
n3:hodnoceniProjektu
n14:U
n3:kategorie
n11:ZV
n3:klicovaSlova
Neuvedeno.
n3:partnetrHlavni
n17:ico%3A68081731
n3:pocetKoordinujicichPrijemcu
0
n3:pocetPrijemcu
1
n3:pocetSpoluPrijemcu
0
n3:pocetVysledkuRIV
6
n3:pocetZverejnenychVysledkuVRIV
6
n3:rokUkonceniPodpory
n18:2006
n3:rokZahajeniPodpory
n18:2005
n3:sberDatUcastniciPoslednihoRoku
n18:2006
n3:sberDatUdajeProjZameru
n18:2007
n3:soutez
n15:SGA02005GA-ST
n3:statusZobrazovaneFaze
n5:DUU
n3:typPojektu
n13:P
n3:vedlejsiObor
n12:JB
n3:zhodnoceni+vysledku+projektu+dodavatelem
Basic parameters of the e-beam writing system BS600 were improved. This results in a high speed system with sub 100 nm resolution. The most important tasks were:Decreasing the beam size by the factor of 2 (from 100 nm to 50 nm), theoretical analysis and V rámci řešení projektu bylo dosaženo zlepšení parametrů vlastního litografu i celé litografické technologie. Nosné body zahrnují zejména:Zmenšení minimálního rozměru svazku 2x (z původních 100 nm na 50 nm); praktické realizaci předcházela důsledná teore
n3:zivotniCyklusProjektu
n9:ZKU