This HTML5 document contains 38 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/typPojektu/
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/druhSouteze/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/zivotniCyklusProjektu/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n20http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/kategorie/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/duvernostUdaju/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
rdfshttp://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/fazeProjektu/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/obor/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/statusZobrazovaneFaze/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n19http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/7AX12105/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/cep/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/vyzva/
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/aktivita/
n6http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:7AX12105
rdf:type
n10:Projekt
rdfs:seeAlso
http://www.ptb.de/cms/en/fachabteilungen/abt8/fb-84/ag-841/small-structures.html http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=7AX12105
dcterms:description
The aim of the project is to provide a fast and very accurate analysis of geometrical properties of nanostructures usable in industrial processes. For such purposes it is often needed to use a measurement of the light dispersion which provides on some typical samples (such as diffraction gratings) enough information about the morphology of the sample. The objective of this project is therefore to develop robust tools for light dispersion data analysis. As a supplementary method the atomic force microscopy is used which is capable to provide a direct information on morphology. It is however a slower and limited range technique. By comparison of both methods it will be possible to optimalize the process of detection of the surface morphology discovered by the optical technique and to specify particular uncertainties of such measurements. The CMI 's objective in this project is to perform a FDTD (Finite Difference in Time Domain) calculation of the light scattering. Projekt je zaměřen zejména na rychlou a vysoce přesnou analýzu geometrických vlastností nanostruktur, která by byla využitelná v průmyslových procesech. Pro takové účely je často vhodné využívat měření rozptylu světla, které na některých typických strukturách (jako jsou např. difrakční mřížky) samo o sobě poskytuje dostatek informace o morfologii vzorku. Cílem projektu je proto vyvinout robustní nástroje pro analýzu dat z rozptylu světla. Jako doplňující metoda je využita mikroskopie atomárních sil, která je schopna poskytnout informace o morfologii přímo, ač mnohem pomaleji a na menší ploše. Porovnáním obou metod bude možné optimalizovat proces detekce morfologie povrchů z optických dat a stanovit jednotlivé nejistoty při takových měřeních. ČMI se v projektu zaměřuje na výpočty rozptylu metodou FDTD (Finite Difference in Time Domain).
dcterms:title
Metrology of small structures for the manufacturing of electronic and optical devices Metrologie malých struktur pro výrobu elektronických a optických zařízení
skos:notation
7AX12105
n4:aktivita
n14:7A
n4:celkovaStatniPodpora
n19:celkovaStatniPodpora
n4:celkoveNaklady
n19:celkoveNaklady
n4:datumDodatniDoRIV
2014-06-12+02:00
n4:druhSouteze
n15:RP
n4:duvernostUdaju
n21:S
n4:fazeProjektu
n12:100399867
n4:hlavniObor
n9:JB
n4:kategorie
n13:AP
n4:klicovaSlova
Finite Difference in Time Domain; scatterometry; atomic force microscopy; nanostructures
n4:partnetrHlavni
n20:ico%3A00177016
n4:pocetKoordinujicichPrijemcu
0
n4:pocetPrijemcu
1
n4:pocetSpoluPrijemcu
0
n4:pocetVysledkuRIV
0
n4:pocetZverejnenychVysledkuVRIV
0
n4:posledniUvolneniVMinulemRoce
2013-03-27+01:00
n4:prideleniPodpory
n11:MSMT-2490%2F2013-310
n4:sberDatUcastniciPoslednihoRoku
n6:2014
n4:sberDatUdajeProjZameru
n6:2014
n4:statusZobrazovaneFaze
n18:DRRVK
n4:typPojektu
n7:P
n4:ukonceniReseni
2014-09-30+02:00
n4:vedlejsiObor
n9:BH
n4:zahajeniReseni
2012-01-01+01:00
n4:zivotniCyklusProjektu
n5:ZBK
n4:vyzva
n17:FP6-2005-Energy-4
n4:klicoveSlovo
Finite Difference in Time Domain atomic force microscopy scatterometry