This HTML5 document contains 23 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

Prefix	IRI
n6	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/
n12	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/
n2	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/projekt/GA0/GA101/98/
dcterms	http://purl.org/dc/terms/
n13	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/
n3	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n4	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/
n9	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/
n11	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/
rdf	http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n5	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/
n8	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/
xsdh	http://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n10	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/business-entity/

Statements

Subject Item

n2:0772

rdf:type

n3:Projekt

dcterms:description

The project proposal is aimed at a design and construction of the compact equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity. This equipment consists of a stable source of white light, CCD camera and dual spectrophotometer. The function of the instrument (based on an original method of the detection of the white light scattered from the growing thin film in a CCD camera) will be verified via its installation onto a vacuum deposition chamber containing two Kaufman's broad ion beam source- (IBAD). The results will be utilized in the deposition process control and thus we should be able to prepare the multilayer structures with a defined optical properties. The advantage of the apparatus is its wide applicability for in-situ control of thin films deposited by other technologies. In the project students of the Master and PhD degree cource will be involved. Projekt si klade za cíl navrhnout a zkonstruovat kompaktní měřící optické zařízení k plošnému in-situ měření tlouštěk a optických konstant tenkých vrstev. Funkce tohoto měřícího přístroje, jenž je založen na originální metodě detekce odraženého bílého světla CCD kamerou, bude optimalizována ve spojení se stávající vakuovou depoziční aparaturou, využívající k depozici tenkých vrstev dva širokosvazkové iontové zdroje Kaufmanova typu. Získané poznatky budou následně využity k řízení depozičního procesu aumožní tak uskutečnění cílených technologických zásahů v průběhu růstu vrstevnatého systému. Nespornou předností navrhovaného zařízení je jeho univerzálnost - principiálně jej bude možno využít k in-situ analýzám deponovaných tenkých vrstev vytvořených ijinými výše zmíněnými iontově-svazkovými technologiemi. Část návrhů jednotlivých komponent bude zajištěna diplomovými projekty studentů oboru fyzikálního inženýrství ÚFI FS Brno a náplní navazujícího doktorandského studia Realizace navrhovaného měřícího

dcterms:title

Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev Design and construction of the equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity

n3:dalsi-vedlejsi-obor

n4:JR

n3:druh-souteze

n9:

n3:faze

n11:20068035

n3:hlavni-obor

n4:BG

n3:vedlejsi-obor

n4:JB

n3:hlavni-ucastnik

n10:orjk-26210

n3:id-aktivity

n13:GA

n3:id-souteze

n6:

n3:kategorie

n12:0

n3:pocet-koordinujicich-prijemcu

0

n3:poskytovatel

n8:GA0

n3:statni-podpora

1068

n3:typProjektu

n5:P

n3:uznane-naklady

1068

n3:pocet-prijemcu

1

n3:pocet-spoluprijemcu

0

n3:pocet-vysledku

17

n3:pocet-vysledku-zverejnovanych

17