This HTML5 document contains 23 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/
n7http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n9http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/
n10http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n8http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/
n5http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/projekt/AV0/

Statements

Subject Item
n2:KJB1010302
rdf:type
n4:Projekt
dcterms:description
Cílem navrhovaného projektu bude studium nízkotlakého plazmatického vícetryskového naprašovacího systému, který bude použit pro nízkoteplotní depozici tenkých vrstev perovskitů (PZT(Pb1-xZrxTiO3),SrMoFeO6,KNbO3 a KTaO3. Hlavní cíl bude depozice těchto typů vrstev a polymerní a plastové substráty. Na deponovaných vrstvách budou zkoumány feroelektrické vlastnosti, struktura, chemické složení, hustota defektů, optické vlastnosti atd. Tyto parametry budou korelovány s různými konfiguracemi vícetryskového systému a parametry reaktivního plazmatu. Reaktivní rozprašování trysek pracujících jako duté katody bude využito pro depoziční proces. Výboj v dutých katodách bude generován pomocí vysokofrekvenčního vykonového zdroje. V případě vodivých dutých katod bude studováno navíc stejnosměrné buzení výboje v duté katodě. Pro diagnostiku plazmatu, která bude prováděna přímo při depozičním procesu bude použita časově rozlišená emisní spektroskopie a rychlá RF kompenzovaná Langmuirova sonda. The aim of the project will be investigation of the low pressure multi- plasma jet sputtering system used for the temperature deposition of thin film perovskites structures as PZT (Pb1-xZrxTiO3), Sr2 MoFeO6, KNbO3 and KTaO3. The main target will be to obtain those films on polymer and plastic substrates. Properties of deposited films as ferroelectric behavior, structure, chemical composition, density of defects, optical properties etc. will be studied and correlated with the configuration of the multi-plasma jet system and properties of reactive plasma. Reactive sputtering of the nozzles working as hollow cathodes will be used for the deposition process. Radio-frequency excitation of high density hollow cathode jets will be used. Furthermore direct current plasma excitation in the case of conductive nozzles will be studied as well. In situ time resolved emission spectroscopy and fast RF compensated Langmuir probe system will be used for study of plasma parameters.
dcterms:title
Studium vícetryskového systému s plazmovými kanály a dutými katodami pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films
n4:dalsi-vedlejsi-obor
n6:JB
n4:druh-souteze
n11:VS
n4:faze
n10:35235270
n4:hlavni-obor
n6:BL
n4:vedlejsi-obor
n6:BH
n4:id-aktivity
n9:KJ
n4:id-souteze
n7:SAV02003-XJ
n4:kategorie
n12:1
n4:klicova-slova
hollow cathode; plasma jet; ferroelectric thin films; reactive sputtering; Langmuir probe; emission spectroscopy
n4:pocet-koordinujicich-prijemcu
0
n4:poskytovatel
n5:AV0
n4:statni-podpora
1316
n4:typProjektu
n8:P
n4:uznane-naklady
1316
n4:pocet-prijemcu
1
n4:pocet-spoluprijemcu
0
n4:pocet-vysledku
6
n4:pocet-vysledku-zverejnovanych
6