This HTML5 document contains 24 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

Prefix	IRI
n8	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/
n4	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/
dcterms	http://purl.org/dc/terms/
n11	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/
n3	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n9	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/
n7	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/
n10	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/
rdf	http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n6	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/
n13	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/
xsdh	http://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n2	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/projekt/AV0/
n12	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/smlouva/

Statements

Subject Item

n2:KJB100100805

rdf:type

n3:Projekt

dcterms:description

Navrhovaný projekt si klade za cíl provádět diagnostiku několika zdrojů plazmatu generovaných za sníženého, případně i atmosférického tlaku. Tyto plazmatické systémy pracující s proudícími kanály - plazmatické trysky byly nedávno vyvinuty a úspěšně vyzkoušeny v sekci Optika Fzú AV ČR. Plasma v nich je generováno pomocí stejnosměrného, vysokofrekvenčního (13,56 MHz) nebo mikrovlnného (2,45 GHz) výboje, případně jejich kombinacemi. Tyto systémy byly již úspěšně použity pro nízkoteplotní vytváření vrstev TiNx, CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx a dalších oxidů na površích různých materiálů, například polymerů. Pro širší uplatnění těchto systémů je však nutné provést systematickou in-situ diagnostiku generovaného plazmatu s cílem optimalizovat podmínky nanášení vrstev. Předpokládá se vývoj a použití časově rozlišené kalorimetrické a Langmuirovy sondy, laserové absorpční a emisní spektroskopie a vytvoření základního modelu přenosu energie z výboje do substrátu. The proposed project sets a target to carry out a diagnostics of several discharges generated at just slightly reduced or even at atmospheric pressure. These plasmatic systems working with flowing channels - plasma jets were developed recently and succesfully tested in section of Optics of Institute of Physics ASCR. The plasma is generated by means of DC, RF (13.56 MHz) or microwave (2.45 GHz) discharge and/or combination of those. These systems were already applied for low-temperature deposition of , CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx thin films and further oxides at sample material surfaces, e.g. polymers. For broader application of those systems the systematic in-situ diagnostic of generated plasma seems to be necessary. The proposed project envisages development of time-resolved calorimetric and Langmuir probe, laser absorption and emission spectroscopy and development of basic model describing a energy transfer from plasma on a substrate.

dcterms:title

A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition. Diagnostika pulzního plazmatu generovaného v systémech s plasmovými kanály určených pro technologické aplikace depozice tenkých vrstev.

n3:cislo-smlouvy

n12:KJB100100805

n3:druh-souteze

n7:VS

n3:faze

n10:53181630

n3:hlavni-obor

n9:BL

n3:id-aktivity

n11:KJ

n3:id-souteze

n8:SAV02008-B

n3:kategorie

n4:1

n3:klicova-slova

hollow cathode; plasma jet; calorimeter probe; Langmuir probe; emisive spectroscopy; laser absorption spectroscopy; time-resolved; thin film

n3:konec-reseni

2010-12-31+01:00

n3:pocet-koordinujicich-prijemcu

0

n3:poskytovatel

n13:AV0

n3:start-reseni

2008-01-01+01:00

n3:statni-podpora

946

n3:typProjektu

n6:P

n3:uznane-naklady

946

n3:pocet-prijemcu

1

n3:pocet-spoluprijemcu

0

n3:pocet-vysledku

11

n3:pocet-vysledku-zverejnovanych

11