Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - The ion gun allows bombardement of the surface of the growing thin film by ions of processing atmosphere, most often by argon. Than it is possible, during the coating, to change the growing thin film and its physical, mechanical and chemical properties. The energy ion will break up the %22weak%22 bonds between atoms. Then, the formation the %22strong%22 bonds in the layer is expressed. These %22strong%22 bonds are necessary for creation of hard films. The special configuration of PLD and ion gun in the vacuum interaction chamber make posssible to reach the requested results. (en)
- Iontové dělo umožňuje bombardovat povrch vyrůstající tenké vrstvy ionty pracovního plynu, nejčastěji argonu, a tím v průběhu procesu nanášení pozměnit režim růstu tenké vrstvy a následně i její fyzikální, chemické a mechanické vlastnosti. Energetické ionty budou rozrušovat %22slabé%22 vazby mezi atomy a tím ve vrstvě upřednostňovat vznik %22silných%22 vazeb, které jsou nezbytné pro vznik tvrdých vrstev. V kombinaci s laserovou PLD umožní realizovat vrstvy nových vlastností. Specialní konfigurace obou prvků (přístrojů : PLD a iontového děla) ve vakuové interakční komoře umožní optimální konfiguraci pro docílení požadovaných výstupů.
- Iontové dělo umožňuje bombardovat povrch vyrůstající tenké vrstvy ionty pracovního plynu, nejčastěji argonu, a tím v průběhu procesu nanášení pozměnit režim růstu tenké vrstvy a následně i její fyzikální, chemické a mechanické vlastnosti. Energetické ionty budou rozrušovat %22slabé%22 vazby mezi atomy a tím ve vrstvě upřednostňovat vznik %22silných%22 vazeb, které jsou nezbytné pro vznik tvrdých vrstev. V kombinaci s laserovou PLD umožní realizovat vrstvy nových vlastností. Specialní konfigurace obou prvků (přístrojů : PLD a iontového děla) ve vakuové interakční komoře umožní optimální konfiguraci pro docílení požadovaných výstupů. (cs)
|
Title
| - Konfigurace PLD a Iontového děla pro modifikaci vrstev
- Configuration of PLD and Ion gun for films modification (en)
- Konfigurace PLD a Iontového děla pro modifikaci vrstev (cs)
|
skos:prefLabel
| - Konfigurace PLD a Iontového děla pro modifikaci vrstev
- Configuration of PLD and Ion gun for films modification (en)
- Konfigurace PLD a Iontového děla pro modifikaci vrstev (cs)
|
skos:notation
| - RIV/68407700:21460/10:00169860!RIV11-MSM-21460___
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...onomickeParametry
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/68407700:21460/10:00169860
|
http://linked.open...terniIdentifikace
| |
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open...vai/riv/kategorie
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - thin films; vacuum chamber; PLD (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...okalizaceVysledku
| - Laboratoř Excimerového laseru 1LF a FBMI ČVUT, Praha - Albetrov
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...echnickeParametry
| - Rozměry : 40 cm délka a průměr 15 cm. Vlastníkem výsledku je ČVUT v Praze, IČ 68407700.
|
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Jelínek, Miroslav
- Kocourek, Tomáš
|
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |
is http://linked.open...avai/riv/vysledek
of | |