About: Measurement platform for X-ray reflectivity XRR     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Řada moderních technických odvětví stále intenzivněji využívá struktury tvořené velice tenkými vrstvami nanesenými na podložku. Nachází uplatnění především při výrobě mikroprocesorů, fotovoltaických článků novější generace nebo speciální rentgenové optiky. Metoda XRR je nesmírně důležitým diagnostickým nástrojem, který umožňuje měřit celou řadu vlastností těchto struktur, a proto roste zájem o velice rychlá měřící zařízení. Navržené měřící zařízení vyniká vysokou rychlostí měření při zachování přesnosti. Toho je dosaženo využitím paralelní kinematiky a paralelním snímáním polohy vzorku v šesti stupních volnosti. (cs)
  • Many modern technologies are based on using thin film structures that consist of very thin layers deposited on substrate. These are being used in semiconductor industry, especially microprocessor manufacturing, solar energy or X-ray optics. XRR method is very important and powerful method useful for characterization or such structures. It allows us to measure many important parameters of thin films and so fast measurement tools are required by customers. Our measurement tool has excellent throughput while measurement precision stays comparable with conventional tools. This is achieved by using parallel kinematics and parallel measurement of sample position in all six degrees of freedom.
  • Many modern technologies are based on using thin film structures that consist of very thin layers deposited on substrate. These are being used in semiconductor industry, especially microprocessor manufacturing, solar energy or X-ray optics. XRR method is very important and powerful method useful for characterization or such structures. It allows us to measure many important parameters of thin films and so fast measurement tools are required by customers. Our measurement tool has excellent throughput while measurement precision stays comparable with conventional tools. This is achieved by using parallel kinematics and parallel measurement of sample position in all six degrees of freedom. (en)
Title
  • Measurement platform for X-ray reflectivity XRR
  • Measurement platform for X-ray reflectivity XRR (en)
  • Meřící platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR (cs)
skos:prefLabel
  • Measurement platform for X-ray reflectivity XRR
  • Measurement platform for X-ray reflectivity XRR (en)
  • Meřící platforma pro rentgenovou reflektometrii XRR (cs)
skos:notation
  • RIV/68407700:21220/08:02143905!RIV09-MSM-21220___
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • S
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...onomickeParametry
  • neveřejná informace
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 378187
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/68407700:21220/08:02143905
http://linked.open...terniIdentifikace
  • PRT200802
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open...vai/riv/kategorie
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • X-ray optics; parallel kinematics; thin film structures (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [E9CA866CEF90]
http://linked.open.../licencniPoplatek
http://linked.open...okalizaceVysledku
  • Durham, Velká Británie
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...echnickeParametry
  • neveřejná informace
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Čáp, Jiří
  • Maršík, Jiří
  • Bowen, K.
  • Wall, J.
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
http://linked.open...itiJinymSubjektem
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 21220
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software