About: Multifunkční držák substrátu pro plazmové depozice tenkých optických vrstev     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • V rámci řešení grantu TAČR byl vyvinut otáčivý nosič substrátu pro plazmovou depozici, který je externě vytápěný do teploty 400 °C a je možné na něj aplikovat RF předpětí do hodnot amplitudy 1000 V.
  • V rámci řešení grantu TAČR byl vyvinut otáčivý nosič substrátu pro plazmovou depozici, který je externě vytápěný do teploty 400 °C a je možné na něj aplikovat RF předpětí do hodnot amplitudy 1000 V. (cs)
  • A rotating substrate holder was developed for plasmatic deposition system as an output of the project TACR. The substrate holder can be heated up to 400 oC and simultaneously biased by the RF voltage up to the amplitude value of 1000 V. (en)
Title
  • Multifunkční držák substrátu pro plazmové depozice tenkých optických vrstev
  • Multifunkční držák substrátu pro plazmové depozice tenkých optických vrstev (cs)
  • Multifunctional substrate holder for plasma depositions of optical thin films (en)
skos:prefLabel
  • Multifunkční držák substrátu pro plazmové depozice tenkých optických vrstev
  • Multifunkční držák substrátu pro plazmové depozice tenkých optických vrstev (cs)
  • Multifunctional substrate holder for plasma depositions of optical thin films (en)
skos:notation
  • RIV/68378271:_____/14:00436748!RIV15-TA0-68378271
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • I, P(TA01010517)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...onomickeParametry
  • Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 30994
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/68378271:_____/14:00436748
http://linked.open...terniIdentifikace
  • MFSH2014
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open...vai/riv/kategorie
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • sputtering; thin films; plasma; deposition; magnetron; reactive sputtering (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [C83BCDACDE4B]
http://linked.open.../licencniPoplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...echnickeParametry
  • Rotační rychlost: 0-200 RPM; vakuová těsnost: 1x10-10 mbar l s-1; maximální dosažená teplota: 400 °C; maximální příkon vytápění: 180 W; maximální amplituda RF předpětí při frekvenci 13.56 MHz: 1000 V
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Adámek, Petr
  • Hubička, Zdeněk
  • Čada, Martin
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
http://linked.open...itiJinymSubjektem
Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software