About: Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
rdfs:seeAlso	http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0023/uv023845.pdf
Description	Technické řešení spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých perovskitových, a to dielektrických, piezoelektrických i ferroelektrických, vrstev s využitím plazmochemických reakcí a pulzním ohřevem substrátu. Týká se konstrukce systému zejména pro realizaci depozice tenkých nanokrystalických vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 (dále vrstev PZT) za nízké teploty na polymerový substrát nebo na polymerový substrát s kovovou elektrodou. Technické řešení spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých perovskitových, a to dielektrických, piezoelektrických i ferroelektrických, vrstev s využitím plazmochemických reakcí a pulzním ohřevem substrátu. Týká se konstrukce systému zejména pro realizaci depozice tenkých nanokrystalických vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 (dále vrstev PZT) za nízké teploty na polymerový substrát nebo na polymerový substrát s kovovou elektrodou. (cs) The technical solution falls within the technological processes of deposition of thin perovskite, especially dielectric, piezoelectric and ferroelectric, films using plasma-chemical reactions and pulsed heating of the substrate. This applies especially for system design for implementation of deposition of thin films of nanocrystalline Pb (ZrxTi1-x)O3 (further PZT layers) at low temperature on the polymer substrate or on a polymer substrate with a metal electrode. (en)
Title	Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev (cs) Plasma system developed for deposition of perovskite thin films (en)
skos:prefLabel	Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev (cs) Plasma system developed for deposition of perovskite thin films (en)
skos:notation	RIV/68378271:_____/12:00383946!RIV13-TA0-68378271
http://linked.open...avai/predkladatel	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GAP205/11/0386), P(GC202/09/J017), P(TA01010517), Z(AV0Z10100522)
http://linked.open...cisloPatentuVzoru	23845
http://linked.open...eleniPatentuVzoru	2012-05-21 (xsd:date)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Čada, Martin Hubička, Zdeněk Adámek, Petr Olejníček, Jiří Kment, Štěpán Jastrabík, Lubomír Straňák, Vítězslav Dejneka, Alexandr
http://linked.open.../riv/druhVysledku	F/U - Užitný vzor
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	158921
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68378271:_____/12:00383946
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	plasma; magnetron sputtering; plasma-jet; PZT thin films (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	magnetron sputtering plasma PZT thin films plasma-jet
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[41ECAA59C815]
http://linked.open.../licencniPoplatek	A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
http://linked.open...ydaniPatentuVzoru	Prague
http://linked.open...atelePatentuVzoru	Úřad průmyslového vlastnictví
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BH
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	9 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Advanced experimental research of discharge plasma sources applied for deposition of nanostructured thin films Low Temperature Plasma Deposition of Perovskite Thin Films on Base Metal and Polymer Substrates Modern multilayer optical structures.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...ydaniPatentuVzoru	CZ - Česká republika
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Adámek, Petr Dejneka, Alexandr Jastrabík, Lubomír Kment, Štěpán Olejníček, Jiří Hubička, Zdeněk Suchaneck, G. Čada, Martin Straňák, Vítězslav
http://linked.open...mniOchranaPatentu	E - Úřad průmyslového vlastnictví ČR
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Fyzikální ústav AV ČR, v.v. i
http://linked.open...itiJinymSubjektem	A - Nabytí licence je nutné vždy
http://linked.open...uzitiPatentuVzoru	A - Pouze udělený nebo využívaný pouze vlastníkem
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Wave and Corpuscular Light Propagation, Optical Materials and Technology

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software