Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Studium vlivu tlouštky vrstvy, koncentrace silanu a teploty substrátu na strukturu a elektrické vlastnosti tenkých vrstev mikrokrystalického křemíku, připraveného pomocí PECVD.
- Studium vlivu tlouštky vrstvy, koncentrace silanu a teploty substrátu na strukturu a elektrické vlastnosti tenkých vrstev mikrokrystalického křemíku, připraveného pomocí PECVD. (cs)
- Study of influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin microcrystalline siliconfilms by PECVD is presented. (en)
|
Title
| - Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon (en)
- Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu
- Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu (cs)
|
skos:prefLabel
| - Influence of film thickness, silane concentration and substrate temperature on structure and electrical properties of thin film protocrystalline silicon (en)
- Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu
- Studium struktury a růstu nizkoteplotního protokrystalického křemíku pomocí AFM mikroskopu (cs)
|
skos:notation
| - RIV/68378271:_____/03:00100037!RIV/2005/AV0/A02005/N
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(IAA1010809), P(IAB2949101), Z(AV0Z1010914)
|
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/68378271:_____/03:00100037
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - PECVD; microcrystalline silicon; AFM (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Československý časopis pro fyziku
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...v/svazekPeriodika
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Rezek, Bohuslav
- Fejfar, Antonín
- Pelant, Ivan
- Kočka, Jan
- Fojtík, Petr
- Drbohlav, Ivo
- Mates, Tomáš
- Luterová, Kateřina
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |