About: Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Implementation of electron beam writing technology with a shaped rectangular electron beam of variable size, the beam size being adjusted independently in both axes in the range 66-2100 nm with the step of 33 nm. (en)
  • Realizace technologie zápisu elektronovým svazkem obdélníkového tvaru proměnné velikosti, nastavitelné nezávisle v každém směru v rozsahu 66-2100 nm s krokem 33 nm.
  • Realizace technologie zápisu elektronovým svazkem obdélníkového tvaru proměnné velikosti, nastavitelné nezávisle v každém směru v rozsahu 66-2100 nm s krokem 33 nm. (cs)
Title
  • Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm
  • Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm (cs)
  • E-Beam Writing Technology with Variable Beam Size of 66 - 2100 nm (en)
skos:prefLabel
  • Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm
  • Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm (cs)
  • E-Beam Writing Technology with Variable Beam Size of 66 - 2100 nm (en)
skos:notation
  • RIV/68081731:_____/09:00336589!RIV10-MPO-68081731
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(FR-TI1/576)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...onomickeParametry
  • Desetkrát vyšší proudová hustota umožňuje zvýšit základní expoziční dobu až desetkrát, což má přímý vliv na produktivitu. Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožňuje realizovat struktury dříve nerealizovatelné.
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 345627
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/68081731:_____/09:00336589
http://linked.open...terniIdentifikace
  • 162 410
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open...vai/riv/kategorie
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • electron beam lithography; shaped electron beam (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [A323C6844528]
http://linked.open...okalizaceVysledku
  • Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...echnickeParametry
  • Proudová hustota ve svazku (min – střed - max): 1,8 – 3,6 – 14,4 A/cm2. Otočení souřadnic tvarování, vychylování a posuvu substrátu: -45 stupňů.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Horáček, Miroslav
  • Lencová, Bohumila
  • Matějka, Milan
  • Urbánek, Michal
  • Horák, R.
  • Kolařík, Vladimír
  • Matějka, František
  • Král, Stanislav
  • Mikšík, P.
  • Vašina, J.
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
http://linked.open...itiJinymSubjektem
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software