About: Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	The e-beam writer BS600/TZ-0 is an electron-optical systém developed and optimized for production of relief microstructures with a sub-micron resolution. The e-beam writer is operating at a constant accelerating voltage of 15 kV, rectangular shaped beam of variable size adjustable in the range 25-3150 nm with a step of 25 nm, and a deflection module scanning the beam position within the field of 3.2 mm x 3.2 mm at resolution of 50 nm. Mutual orientation of shaping axes and deflection axes is 30 degree. (en) Elektronový litograf BS600/TZ-0 je elektronově-optické zařízení vyvinuté a optimalizované pro výrobu reliéfních mikrostrukltur se submikronovým rozlišením. Elektronový litograf pracuje s konstantním urychlovacím napětím 15 kV, pravoúhlým tvarovatelným svazkem, jehož velikost lze nastavit nezávisle v obou směrech od 25 nm do 3150 nm s krokem 25 nm, s vychylovacím polem 3,2 mm x 3,2 mm s krokem 50 nm. Vzájemná orientace souřadnic tvarování a vychylování je 30 stupňů. Elektronový litograf BS600/TZ-0 je elektronově-optické zařízení vyvinuté a optimalizované pro výrobu reliéfních mikrostrukltur se submikronovým rozlišením. Elektronový litograf pracuje s konstantním urychlovacím napětím 15 kV, pravoúhlým tvarovatelným svazkem, jehož velikost lze nastavit nezávisle v obou směrech od 25 nm do 3150 nm s krokem 25 nm, s vychylovacím polem 3,2 mm x 3,2 mm s krokem 50 nm. Vzájemná orientace souřadnic tvarování a vychylování je 30 stupňů. (cs)
Title	Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 (cs) E-Beam Writer at 15kV with Shaped Electron Beam of Minimum Size 25nm BS600/TZ-0 (en)
skos:prefLabel	Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 (cs) E-Beam Writer at 15kV with Shaped Electron Beam of Minimum Size 25nm BS600/TZ-0 (en)
skos:notation	RIV/68081731:_____/09:00336579!RIV10-AV0-68081731
http://linked.open...avai/riv/aktivita	Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	Z(AV0Z20650511)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2010
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Horáček, Miroslav Kolařík, Vladimír Matějka, František Matějka, Milan Urbánek, Michal Král, Stanislav
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožnilo realizovat struktury dříve nerealizovatelné.
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	312988
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68081731:_____/09:00336579
http://linked.open...terniIdentifikace	6241
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Electron Beam Lithography with Shaped Beam (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Electron Beam Lithography with Shaped Beam
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[CEFB3CDD3801]
http://linked.open.../licencniPoplatek	A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
http://linked.open...okalizaceVysledku	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	6 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	6 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2009
http://linked.open...echnickeParametry	Velikost svazku: 25-3150 nm. Otočení souřadnic tvarování: -30 stupňů. Proudová hustota ve svazku (min – střed - max): 0,8 – 1,6 – 4,8 A/cm2.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Horáček, Miroslav Matějka, Milan Urbánek, Michal Kolařík, Vladimír Matějka, František Král, Stanislav
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
http://linked.open...itiJinymSubjektem	A - Nabytí licence je nutné vždy
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Research into experimental methods for examination of the physical properties of matter and their application in advanced technologies
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of	Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0 Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 19 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software