Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.
- In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed. (en)
- V příspěvku prezentujeme interferometrický monitorovací systém polohy pro odměřování a polohování vzorku pro mikroskopii s lokální sondou. Uspořádání je navrženo pro metrologické aplikace s přímou návazností na základní etalon délky a monitorování ve všech šesti osách volnosti. Je navrženo aktivní řízení polohy. (cs)
|
Title
| - Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy
- Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou (cs)
- Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy (en)
|
skos:prefLabel
| - Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy
- Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou (cs)
- Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy (en)
|
skos:notation
| - RIV/68081731:_____/09:00325114!RIV09-AV0-68081731
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(2A-1TP1/127), P(2A-3TP1/113), P(2C06012), P(FT-TA3/133), P(GA102/07/1179), P(IAA200650504), P(KAN311610701), P(LC06007), Z(AV0Z20650511)
|
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/68081731:_____/09:00325114
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - Interferometry; local probe microscopy; nanometrology (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| - DE - Spolková republika Německo
|
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...v/svazekPeriodika
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Lazar, Josef
- Číp, Ondřej
- Čížek, Martin
- Šerý, Mojmír
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |
is http://linked.open...avai/riv/vysledek
of | |