About: Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Tématem práce je studium jedné technologické vrstvy polovodičové struktury s ohraničenými dopovanými oblastmi pomocí rastrovacího mikroskopu s pomalými elektrony, a to jak v ultravysokovakuových, tak i ve standardních vakuových podmínkách. Cílem je nalezení optimálních podmínek zobrazení dopovaných oblastí a získání závislosti mezi kontrastem a hustotou příměsí.
  • The topic of the work is study of one technological layer of semiconductor structure with delimited doped areas by scanning microscope with slow electrons in both ultra-high vacuum and standard vacuum conditions. The aim is to find optimum conditions of imaging of doped areas and to obtain dependence values between the contrast and density of the addition. (en)
Title
  • Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.
  • Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů. (cs)
  • Quantitative study of density of the dopant configuration in a semiconductor by emission of secondary electrons. (en)
skos:prefLabel
  • Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů.
  • Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů. (cs)
  • Quantitative study of density of the dopant configuration in a semiconductor by emission of secondary electrons. (en)
skos:notation
  • RIV/68081731:_____/02:12020145!RIV/2003/AV0/A12003/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 23 ; 24
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(IAA1065901), Z(AV0Z2065902)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 651410
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/68081731:_____/02:12020145
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • semi-conductor structure; low energy SEM; contrast (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [7D2374EE345A]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Brno [CZ]
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Brno
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002.
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...ocetUcastnikuAkce
http://linked.open...nichUcastnikuAkce
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Mika, Filip
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Ústav přístrojové techniky AV ČR
https://schema.org/isbn
  • 80-238-9915-5
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software