About: Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	In this paper, a new method of measurement of mechanical properties of thin films is presented. This method combines specimen preparation by focused ion beam (FIB) and compression test using nanoindentation device. Compression specimens were prepared from thin film, Al-1.5%Cu, which is commonly used in integrated circuit. Cylindrical specimens were prepared by FIB milling. The height of specimens (pillars) was about 2 mircrometers (equal to the film thickness) and their diameter was about 1.3 micrometers. The pillars are single crystalline, therefore the results depend on crystallographic orientation of pillar, which was specified by EBSD (electron backscatter diffraction). Stress-strain curves of the thin film were obtained in two representations. (en) Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích. Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích. (cs)
Title	Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty (cs) Nanocompression of oriented pillars from Al thin film (en)
skos:prefLabel	Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty (cs) Nanocompression of oriented pillars from Al thin film (en)
skos:notation	RIV/68081723:_____/10:00353917!RIV11-AV0-68081723
http://linked.open...avai/riv/aktivita	S Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	S, Z(AV0Z20410507)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2011
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Kruml, Tomáš Kuběna, Ivo
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	273628
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68081723:_____/10:00353917
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	nanocompression; thin Al film; focused ion beam (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	nanocompression thin Al film focused ion beam
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[ECDC35B39A9C]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Svratka
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Prague
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Engineering Mechanics 2010
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JJ
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2010
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Kruml, Tomáš Kuběna, Ivo
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	EUR - Evropská
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2010-05-10 (xsd:date)
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Physical properties of advanced materials in relation to their microstructure and processing
number of pages	8 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Ústav termomechaniky AV ČR
https://schema.org/isbn	978-80-87012-26-0
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of	Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 10 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software