About: Analysis of ellipsometric data obtained from a curved surface     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • This article deals with quantitative determination of the error following the ellipsometric data obtained from a curved surface including the influence of non-collimated beams. Numerical model, based on the combination of geometrical and wave optics, is restricted to the example of single dielectric layer deposited on the substrate with complex index of refraction. Three methods for averaging the possible measurable ellipsometric data are compared and analysed. (en)
  • V článku je analyzován vliv zakřiveného povrchu na přesnost vyhodnocení elipsometrických parametrů získaných změřením odraženého sbíhavého (rozbíhavého nebo kolimovaného) svazku dopadajícího na sférický povrch. Numerický model je omezen na příklad jedné tenké dielektrické vrstvy nanesené na podložce s komplexním indexem lomu, fyzikálně vycházející z geometrického modelu šíření dílčích paprsků známé polarizace, zatímco pro šíření elektromagnetického pole v tenké vrstvě je využito metody vlnové optiky. Jsou uváženy tři způsoby průměrování lokálních veličin a porovnány odchylky od správných hodnot indexu lomu a tloušťky dielektrické vrstvy.
  • V článku je analyzován vliv zakřiveného povrchu na přesnost vyhodnocení elipsometrických parametrů získaných změřením odraženého sbíhavého (rozbíhavého nebo kolimovaného) svazku dopadajícího na sférický povrch. Numerický model je omezen na příklad jedné tenké dielektrické vrstvy nanesené na podložce s komplexním indexem lomu, fyzikálně vycházející z geometrického modelu šíření dílčích paprsků známé polarizace, zatímco pro šíření elektromagnetického pole v tenké vrstvě je využito metody vlnové optiky. Jsou uváženy tři způsoby průměrování lokálních veličin a porovnány odchylky od správných hodnot indexu lomu a tloušťky dielektrické vrstvy. (cs)
Title
  • Analysis of ellipsometric data obtained from a curved surface (en)
  • Analýza elipsometrických dat získaných ze zakřiveného povrchu
  • Analýza elipsometrických dat získaných ze zakřiveného povrchu (cs)
skos:prefLabel
  • Analysis of ellipsometric data obtained from a curved surface (en)
  • Analýza elipsometrických dat získaných ze zakřiveného povrchu
  • Analýza elipsometrických dat získaných ze zakřiveného povrchu (cs)
skos:notation
  • RIV/61989592:15310/11:33119511!RIV12-MSM-15310___
http://linked.open...avai/predkladatel
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(1M06002)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 11-12
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 185943
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/61989592:15310/11:33119511
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • ellipsometry, curved surfaces, non-collimated beams (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [3EC31EB4AFFB]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...v/svazekPeriodika
  • 56
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Křepelka, Jaromír
issn
  • 0447-6441
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 15310
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software