About: Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle The article deals with white-light spectral interferometry used for measuring the thickness of SiO2 thin films on a silicon substrate. A slightly dispersive Michelson interferometer with a cube beam splitter and a fibre optic spectrometer are used when one of the interferometer mirrors is replaced by the SiO2 thin film on the silicon wafer. Thickness of the SiO2 thin film is determined by comparison of recorded spectral interferogram with theoretical one provided that the optical constants for materials involved in the structure are known. This method was applied for the thickness determination of four SiO2 thin-film samples. (en) Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle (cs)
Title	Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle Measurement of the thickness of SiO2 thin film on the silicon substrate using white-light spectral interferometry (en) Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle (cs)
skos:prefLabel	Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle Measurement of the thickness of SiO2 thin film on the silicon substrate using white-light spectral interferometry (en) Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle (cs)
skos:notation	RIV/61989100:27350/07:00016590!RIV08-GA0-27350___
http://linked.open.../vavai/riv/strany	13-16
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GA202/06/0531)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	1
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2008
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Hlubina, Petr Ciprian, Dalibor Lesňák, Michal Luňáček, Jiří
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava / Hornicko-geologická fakulta
http://linked.open...dnocenehoVysledku	432890
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/61989100:27350/07:00016590
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	SiO2 thin film; spectral interferometry (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	SiO2 thin film spectral interferometry
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[73689E39056C]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Fine Mechanics and Optics - Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BH
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Reflection and waveguiding effects in magnetic nanostructures
http://linked.open...UplatneniVysledku	2007
http://linked.open...v/svazekPeriodika	52
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Ciprian, Dalibor Hlubina, Petr Luňáček, Jiří Lesňák, Michal Chlebus, Radek
issn	0447-6441
number of pages	4 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	27350
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of	Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle Měření tloušťky tenké vrstvy SiO2 na křemíkovém substrátu s využitím spektrální interferometrie v bílém světle

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software