Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Polycrystalline Si (poly-Si) thin films produced by atmospheric pressure chemical vapour deposition (APCVD) were treated by hydrogen passivation in the remote plasma system. Such materials could be potentially used for photovoltaics applications. The purpose of the present study was to investigate the effects of hydrogen passivation on poly-Si thin film properties, such as hall mobility and photoluminescence. Elastic recoil detection analysis (ERDA) was used to determine the depth distribution and concentration of hydrogen. ERDA was also applied to determine the hydrogen content of amorphous/microcrystalline silicon produced by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with various dilution ratios of the working gases (H2 and SiH4).
- Polycrystalline Si (poly-Si) thin films produced by atmospheric pressure chemical vapour deposition (APCVD) were treated by hydrogen passivation in the remote plasma system. Such materials could be potentially used for photovoltaics applications. The purpose of the present study was to investigate the effects of hydrogen passivation on poly-Si thin film properties, such as hall mobility and photoluminescence. Elastic recoil detection analysis (ERDA) was used to determine the depth distribution and concentration of hydrogen. ERDA was also applied to determine the hydrogen content of amorphous/microcrystalline silicon produced by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with various dilution ratios of the working gases (H2 and SiH4). (en)
- Tenké vrstvy polykrystalického křemíku byly připravovány chemickým napařovaním za atmosférického tlaku (APCVD) a byly pasivovány vodíkem v plasmatu. Takové materiály by mohly být perspektivní jako solární články a byl studován vliv pasivace vodíkem na vlastnosti polykrystalických křemíkových vrstev jako např. luminiscence. Metoda elastického dopředného rozptylu ERDA byla použita pro studium distribuce vodíku v připravených vrstvách a dále byla použita pro studium vodíku ve vrstvách mikrokrystalického křemíku připraveného PECVD s různými poměry H2 a SiH4 v pracovním plynu. Byla zjištěna závislost koncentrace vodíku na krystalinitě vrstev. (cs)
|
Title
| - Characterization of hydrogen contained in passivated poly-Si and microcrystalline-Si by ERDA technique
- Charakterizace vodíku obsaženého ve vrstvách pasivovaného polykrystalického a mikrokrystalického křemíku s použitím metody ERDA (cs)
- Characterization of hydrogen contained in passivated poly-Si and microcrystalline-Si by ERDA technique (en)
|
skos:prefLabel
| - Characterization of hydrogen contained in passivated poly-Si and microcrystalline-Si by ERDA technique
- Charakterizace vodíku obsaženého ve vrstvách pasivovaného polykrystalického a mikrokrystalického křemíku s použitím metody ERDA (cs)
- Characterization of hydrogen contained in passivated poly-Si and microcrystalline-Si by ERDA technique (en)
|
skos:notation
| - RIV/61389005:_____/06:00032381!RIV07-AV0-61389005
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(LC06041), Z(AV0Z10100523), Z(AV0Z10480505)
|
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/61389005:_____/06:00032381
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - ERDA; hydrogen concentration,; thin film solar cells (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| - GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
|
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Surface and Interface Analysis
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...v/svazekPeriodika
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Macková, Anna
- Fejfar, Antonín
- Kočka, Jan
- Boldyryeva, Hanna
- Honda, Shinya
- Mates, Tomáš
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |
is http://linked.open...avai/riv/vysledek
of | |