About: Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Strontium bismuth niobate, Bi2SrNb2O9 (SBN), represents a promising ferroectric material for manufacturing of non-volatile FeRAM. Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) is one of the most important preparation methods to realize high-density FeRAM structures on this material. This contribution addresses the thermodynamic aspects of the MOCVD growth of SBN layers. The thorough thermodynamic analysis of the Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar system was performed using the Gibbs energy minimization method. The gaseous phase consisting of 37 species and 24 solid substances were included into the calculation. Thermodynamic data for mixed oxides were estimated in some cases due to the lack of experimental values. The equilibrium composition of the above mentioned system was calculated for the temperature range of 400 - 800 oC, atmospheric and reduced pressures for a number of initial gas phase constitutions. The results of thermodynamic prediction are discussed in connection with the bismuth, strontium and niobium r (en) Směsný niobát Bi2SrNb2O9 (SBN) představuje vhodný materiál pro přípravu pamětí typu FeRAM. Tato práce je věnována termodynamickým předpokladům depozice vrstev SBN metodou MOCVD. Byl proveden podrobný termodynamický rozbor systému Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar metodou minimalizace celkové Gibbsovy energie. Při výpočtu rovnovážného složení bylo uvažováno 37 plynných a 24 pevných látek. Jelikož neexistují potřebné experimentální údaje, byla termodynamická data pro směsné oxidy odhadnuta. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 400 - 800 oC, atmosférický a snížený tlak, pro různá počáteční složení plynné fáze. Na základě vypočtených výsledků je diskutovány relativní těkavost Bi, Sr a Nb a možnosti kontaminace připravovaných vrstev uhlíkem. Směsný niobát Bi2SrNb2O9 (SBN) představuje vhodný materiál pro přípravu pamětí typu FeRAM. Tato práce je věnována termodynamickým předpokladům depozice vrstev SBN metodou MOCVD. Byl proveden podrobný termodynamický rozbor systému Bi-Sr-Nb-O-C-H-Ar metodou minimalizace celkové Gibbsovy energie. Při výpočtu rovnovážného složení bylo uvažováno 37 plynných a 24 pevných látek. Jelikož neexistují potřebné experimentální údaje, byla termodynamická data pro směsné oxidy odhadnuta. Výpočty byly provedeny pro obor teplot 400 - 800 oC, atmosférický a snížený tlak, pro různá počáteční složení plynné fáze. Na základě vypočtených výsledků je diskutovány relativní těkavost Bi, Sr a Nb a možnosti kontaminace připravovaných vrstev uhlíkem. (cs)
Title	Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD (cs) Thermodynamic prediction for MOCVD of Bi2SrNb2O9 layers (en)
skos:prefLabel	Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD Termodynamické předpoklady přípravy vrstev Bi2SrNb2O9 metodou MOCVD (cs) Thermodynamic prediction for MOCVD of Bi2SrNb2O9 layers (en)
skos:notation	RIV/60461373:22310/04:00011541!RIV/2005/MSM/223105/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany	167;171
http://linked.open...avai/riv/aktivita	Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	Z(MSM 223100002)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2005
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Hampl, Milan Leitner, Jindřich
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoká škola chemicko-technologická v Praze / Fakulta chemické technologie
http://linked.open...dnocenehoVysledku	589971
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/60461373:22310/04:00011541
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Strontium bismuth niobate;MOCVD;Thermodynamic analysis;Bismuth, strontium and niobium volatility;Carbon incorporation (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	MOCVD Thermodynamic analysis Bismuth Carbon incorporation Strontium bismuth niobate strontium and niobium volatility
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[D4E46AD4E517]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Rožnov pod Radhoštěm
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Trenčín
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Sborník Vrstvy a povlaky 2004
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BJ
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2004
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Leitner, Jindřich Hampl, Milan
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	CST - Celostátní
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2004-10-07 (xsd:date)
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/MSM%20223100002
number of pages	5 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Digital Graphic
https://schema.org/isbn	80-968337-8-2
http://localhost/t...ganizacniJednotka	22310

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software