About: Numerical investigation of plasma sheath at cylindrical cathode

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Numerical investigation of plasma sheath at cylindrical cathode Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	During plasma deposition of thin films the plasma properties at the sheath are often decisive. For industrial applications it is important to ensure homogeneous conditions above the whole surface of the substrate. This demand can be reached by cylindrical arrangement of the electrodes. The article gives theoretical solution of plasma conditions in the cylindrical sheath. The collisions of ions with neutrals in the sheath are involved. Analytical expressions are accompanied by numerical computations realized in MATLAB environment. (en) Při plazmatické depozici tenkých vrstev rozhodují často vlastnosti plazmatu ve stěnové vrstvě. Pro průmyslové využití je významné, aby plocha substrátu mohla být co největší současně se zajištěním homogenních podmínek. To splňuje uspořádání s válcovými elektrodami. V článku je teoreticky řešen stav plazmatu ve stěnové vrstvě katody s válcovou symetrií. Jsou uvažovány pružné srážky iontů s neutrály. Analytické výpočty jsou doplněny numerickými výpočty v MATLABu. Při plazmatické depozici tenkých vrstev rozhodují často vlastnosti plazmatu ve stěnové vrstvě. Pro průmyslové využití je významné, aby plocha substrátu mohla být co největší současně se zajištěním homogenních podmínek. To splňuje uspořádání s válcovými elektrodami. V článku je teoreticky řešen stav plazmatu ve stěnové vrstvě katody s válcovou symetrií. Jsou uvažovány pružné srážky iontů s neutrály. Analytické výpočty jsou doplněny numerickými výpočty v MATLABu. (cs)
Title	Numerical investigation of plasma sheath at cylindrical cathode (en) Numerické studium stěnové vrstvy plazmatu válcové katody Numerické studium stěnové vrstvy plazmatu válcové katody (cs)
skos:prefLabel	Numerical investigation of plasma sheath at cylindrical cathode (en) Numerické studium stěnové vrstvy plazmatu válcové katody Numerické studium stěnové vrstvy plazmatu válcové katody (cs)
skos:notation	RIV/60076658:12410/04:00005216!RIV/2005/MSM/124105/N
http://linked.open.../vavai/riv/strany	51-59
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(OC 527.60), Z(MSM 124100004)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2005
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Olejníček, Jiří Bartoš, Petr Špatenka, Petr Blažek, Josef
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích / Pedagogická fakulta
http://linked.open...dnocenehoVysledku	576972
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/60076658:12410/04:00005216
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	plasma sheath;DC discharge;collisions (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	plasma sheath collisions DC discharge
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[9708F2843B00]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Kongresové centrum ČVUT, Praha
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Praha
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	In: MATLAB 2004. Sborník příspěvků 12. ročníku konference, díl I.
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/OC%20527.60
http://linked.open...UplatneniVysledku	2004
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Blažek, Josef Olejníček, Jiří Bartoš, Petr Špatenka, Petr
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	CST - Celostátní
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2004-11-04 (xsd:date)
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/MSM%20124100004
number of pages	9 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Vysoká škola chemicko-technologická v Praze
https://schema.org/isbn	80-7080-550-1
http://localhost/t...ganizacniJednotka	12410

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software