About: Deposition of thin multilayer a-Si:H/SiO2 by using PECVD for photovoltaic applications     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • V tomto článku bylo použito termické žíhání pro výrobu křemíkových nanostruktur s kontrolovanou velikostí z amorfních multivrstev a-Si:H/SiO2. Série multivrstev byly deponovány PECVD za použití SiH4 a N2O plynných prekurzorů. Vrstvy tvořené stejnými tloušťkami (20, 15, 10 a 5 nm) subvrstev a-Si:H a SiO2 byly připravené na substráty Corning glass a Si(100).
  • V tomto článku bylo použito termické žíhání pro výrobu křemíkových nanostruktur s kontrolovanou velikostí z amorfních multivrstev a-Si:H/SiO2. Série multivrstev byly deponovány PECVD za použití SiH4 a N2O plynných prekurzorů. Vrstvy tvořené stejnými tloušťkami (20, 15, 10 a 5 nm) subvrstev a-Si:H a SiO2 byly připravené na substráty Corning glass a Si(100). (cs)
  • In this paper, we used thermal annealing for fabrication size controlled silicon nanostructures from amorphous a-Si:H/SiO2 multilayers. A series of multilayers were deposited by PECVD using SiH4 and N2O as precursor gases. Films composed of alternating uniformly thick (20, 15, 10 and 5 nm) sublayers of a-Si:H and SiO2 were prepared on Corning glass and Si(100) substrate. (en)
Title
  • Deposition of thin multilayer a-Si:H/SiO2 by using PECVD for photovoltaic applications (en)
  • Depozice tenkých multivrstev a-Si:H/SiO2 technologií PECVD pro fotovoltaické aplikace
  • Depozice tenkých multivrstev a-Si:H/SiO2 technologií PECVD pro fotovoltaické aplikace (cs)
skos:prefLabel
  • Deposition of thin multilayer a-Si:H/SiO2 by using PECVD for photovoltaic applications (en)
  • Depozice tenkých multivrstev a-Si:H/SiO2 technologií PECVD pro fotovoltaické aplikace
  • Depozice tenkých multivrstev a-Si:H/SiO2 technologií PECVD pro fotovoltaické aplikace (cs)
skos:notation
  • RIV/49777513:23640/12:43917415!RIV13-MSM-23640___
http://linked.open...avai/predkladatel
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(ED2.1.00/03.0088)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 130123
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23640/12:43917415
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • PECVD; multivrstvy; a-Si:H / SiO2 (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [E233AADED9ED]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Netrvalová, Marie
  • Šutta, Pavol
  • Prušáková, Lucie
  • Calta, Pavel
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23640
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software