About: Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Článek se zabývá vývojem vlastností tenkých vrstev Al připravených rf a dc magnetronovým naprašováním. Strukturní a optické vlastnosti deponovaných vrstev byly charakterizovány ve vztahu ke zdroji, naprašovacímu času a depozičnímu výkonu. (cs) The paper deals with the evaluation of aluminium thin films properties prepared by fr and dc magnetron sputtering techniques. Structural and optical properties of deposited films were characterized in relation to type of the source, sputtering time and deposition power. The paper deals with the evaluation of aluminium thin films properties prepared by fr and dc magnetron sputtering techniques. Structural and optical properties of deposited films were characterized in relation to type of the source, sputtering time and deposition power. (en)
Title	Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania Vliv parametrů depozice na strukturu a rychlost růstu Al vrstev připravených metodou magnetronového naprašování (cs) The influence of deposition parameters on structure and deposition rates of Al films prepared by magnetron sputtering (en)
skos:prefLabel	Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania Vliv parametrů depozice na strukturu a rychlost růstu Al vrstev připravených metodou magnetronového naprašování (cs) The influence of deposition parameters on structure and deposition rates of Al films prepared by magnetron sputtering (en)
skos:notation	RIV/49777513:23640/07:00000024!RIV08-MSM-23640___
http://linked.open.../vavai/riv/strany	197-199
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(1M06031)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2008
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Netrvalová, Marie Zubko, Pavol Šutta, Pavol
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Západočeská univerzita v Plzni / Nové technologie - výzkumné centrum
http://linked.open...dnocenehoVysledku	459152
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/49777513:23640/07:00000024
http://linked.open...riv/jazykVysledku	sla - slovenština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	magnetron sputtering; Al (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Al magnetron sputtering
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[199578525138]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Rožnov pod Radhoštěm
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Trenčín
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Vrstvy a povlaky 2007
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Materials and components for environment protection
http://linked.open...UplatneniVysledku	2007
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Netrvalová, Marie Šutta, Pavol Zubko, Pavol
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	EUR - Evropská
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2007-01-01 (xsd:date)
number of pages	3 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Digital graphic
https://schema.org/isbn	978-80-969310-4-0
http://localhost/t...ganizacniJednotka	23640
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of	Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software