About: Time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Výsledky diagnostiky Langmouirovou sondou s časovým rozlišením ve vysokovýkonových pulzních DC magnetronových výbojích určených pro naprašování vrstev jsou prezentovány v tomto článku. (cs)
  • We report on the results obtained by time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges proposed for ionized high-rate sputtering of metallic films. Time evolutions of the electron energy distribution and loc
  • We report on the results obtained by time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges proposed for ionized high-rate sputtering of metallic films. Time evolutions of the electron energy distribution and loc (en)
Title
  • Time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges
  • Time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges (en)
  • Diagnostika Langmuirovou sondou s časovým rozlišením ve vysokovýkonových pulzních DC magnetronových výbojích pro rozprašování (cs)
skos:prefLabel
  • Time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges
  • Time-resolved Langmuir probe diagnostics in high-power pulsed dc magnetron sputtering discharges (en)
  • Diagnostika Langmuirovou sondou s časovým rozlišením ve vysokovýkonových pulzních DC magnetronových výbojích pro rozprašování (cs)
skos:notation
  • RIV/49777513:23520/05:00000251!RIV06-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 97-98
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(ME 673), Z(MSM 235200002)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 546834
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23520/05:00000251
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • pulsed magnetron sputtering; high-power discharge; time-resolved Langmuir probe; copper (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [FDA6A8D55FD2]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Podbanské
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Bratislava
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • 15th symposium on applications of plasma processes
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Pajdarová, Andrea Dag
  • Vlček, Jaroslav
  • Lukáš, Jan
  • Kudláček, Pavel
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Univerzita Komenského v Bratislave
https://schema.org/isbn
  • 80-223-2018-8
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23520
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 85 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software