About: Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor)

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Evaluation of a reactor prototype for dry and wet oxidation of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor) to achieve uniformity of required thickness of silicon layer at wafers surface in whole dose. (en) Vytvoření prototypu reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadované tloušťky vrstvy SiO2 po ploše jednotlivých desek v celé zpracovávané dávce. Vytvoření prototypu reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) pro dosažení homogenity požadované tloušťky vrstvy SiO2 po ploše jednotlivých desek v celé zpracovávané dávce. (cs)
Title	Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) (cs) A reactor prototype for dry and wet oxidation of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor) (en)
skos:prefLabel	Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) Prototyp reaktoru pro suchou a vlhkou oxidaci 5-ti a 6-ti palcových Si desek včetně všech modulárních komponent (stínící prvky, křemenné lodičky, injektory a extraktor) (cs) A reactor prototype for dry and wet oxidation of 5 nad 6 inched Si wafors including all components (baffles, quartz boats, injector and extractor) (en)
skos:notation	RIV/27711170:_____/12:#0000018!RIV13-TA0-27711170
http://linked.open...avai/predkladatel	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01020972)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Štěpánek, Jaroslav Pitrun, Jiří Mareš, Gustav Rek, Štěpán Konečný, Ladislav Martinek, Pavel Jakeš, Jakub Fiala, Martin
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/A - Prototyp
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	V případě implementace ověřené technolopie pro vysokoteplotní suchou a mokrou oxidaci na strukturách křemíkových solárních článků do vysokoteplotních pecí SVFur společně s metodikami pro přípravu substrátů a vytváření těchto vrstev se předpokládá 7% nárůst prodeje v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	163154
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/12:#0000018
http://linked.open...terniIdentifikace	SVROX_01
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	reactor, diffusion, phosphorus (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	reactor phosphorus diffusion
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[73433DE34AF4]
http://linked.open.../licencniPoplatek	Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	8 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	17 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2012
http://linked.open...echnickeParametry	Ověření možnosti jednotného designu pecí pro suchou a vlhkou oxidaci Si desek. Ověření kvality (pasivačních vlastností pro n-typové i p-typové povrchy) a rychlosti růstu oxidových vrstev v závislosti na teplotě, úrovni povrchové koncentrace dopantů a ředění koncentrace vodní páry v reaktoru přidáním dusíku a kyslíku. Ověření vlivu růstových parametrů SiO2 vrstvy na výsledné optické a elektrické vlastnosti testovacích solárních článků. Ověření použití designu dvojvrstvé ARC pasivační vrstvy s tloušťkou 25 až 30 nm (ve spojení s další tenkou vrstvou na bázi Si3N4 s tloušťkou 40 až 50 nm) v procesu výroby solárních článků s vysokou účinností.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Bařinka, Radim Fiala, Martin Poruba, Aleš Wostrý, Petr Čech, Pavel Remeš, Zdeněk Holovský, Jakub Konečný, Ladislav Mareš, Gustav Pitrun, Jiří Rek, Štěpán Štěpánek, Jaroslav Jakeš, Jakub Martínek, Pavel Mudroň, Igor Perlík, Martin Frantín, Ondřej
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	P - Nabytí licence je nutné v některých případech

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software