About: Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Byla dokončena replika nové naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití.
  • Byla dokončena replika nové naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití. (cs)
  • It was constructed a new replica of sputtering device with the ability to connect multiple types of gases and several targets in order to generate DLC layers donated with boron of fluor. New sputtering device was designed for industry application. (en)
Title
  • Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev
  • Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev (cs)
  • New replica of sputtering equipment with improved functionality for depositing B-DLC layers (en)
skos:prefLabel
  • Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev
  • Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev (cs)
  • New replica of sputtering equipment with improved functionality for depositing B-DLC layers (en)
skos:notation
  • RIV/26234386:_____/13:#0000092!RIV14-MPO-26234386
http://linked.open...avai/predkladatel
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(FR-TI1/118)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...onomickeParametry
  • Nová replika naprašovačky umožňuje nanášení DLC vrstev. Senzory opatřené těmito vrstvami by měly zvýšit obrat firmy o 10 000 EUR-ročně.
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 102428
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/26234386:_____/13:#0000092
http://linked.open...terniIdentifikace
  • RIV 2013/FR-TI/118/1
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open...vai/riv/kategorie
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • electrochemical sensors; DLC; B-DLC (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [D9281E6E7AA0]
http://linked.open.../licencniPoplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...echnickeParametry
  • Aparaturu tvoří válcová vakuová komora se 4 pravidelně rozmístěnými nástavci s přírubami ISO-K DN 100. Dávkování plynů řídí regulátory průtoku. Horní víko, přístup do komory, obsahuje 4 příruby o průměru 100 mm, ke kterým jsou připojeny magnetron, 2 vakuové měrky a poslední rezervní je zaslepena víčkem. Pro měření v celém rozsahu tlaků slouží kombinovaná vakuová měrka PKR251 (Pirani/Penning), pro měření pracovního tlaku kapacitní vakuová měrka (Baratron). Magnetron má průměr terče 76 mm. Neodymové magnety vytváří silné magnetické pole magnetronu. V komoře je otočný výškově nastavitelný držák. Je možné naprášit až 4 sady. Před depozicí je možné na držák přivést napětí a pomocí iontů očistit součásti. Komora je posazena na stojan s otvorem pro přístup k spodní části komory. Vakuum zajišťuje čerpací stanice TSU-521 Turbo Pumping Station. Podléhá smlouvě: Smlouva o využití výsledku výzkumu a vývoje 2012/FR-TI1/118. Licenční smlouva nebyla uzavřena. Kontaktní osoba: RNDr. Jan Krejčí, Ph.D., BVT Technologies, a.s.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Fořt, Tomáš
  • Neděla, Vilém
  • Sobota, Jaroslav
  • Krejčí, Jan
  • Dupák, Libor
  • Dupák, Jan
  • Kapounek, Petr
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
http://linked.open...itiJinymSubjektem
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 35 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software