Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Plasma polymerization is a powerful tool for deposition of thin films whose physicochemical properties can be controlled in wide ranges and thus the technology enables tailoring of the material with respect to an application. However, a success of the coating technique depends on a suitable technological system, as the vacuum quality and film reproducibility are the crucial parameters. We have developed a new capacitive coupling system for creative design and application of complex film systems in smartt materials. The internal setup of our deposition chamber using plan-parallel electrodes was derived from a typical capacitive coupling system, but our apparatus was equipped with many non-standard components.
- Plasma polymerization is a powerful tool for deposition of thin films whose physicochemical properties can be controlled in wide ranges and thus the technology enables tailoring of the material with respect to an application. However, a success of the coating technique depends on a suitable technological system, as the vacuum quality and film reproducibility are the crucial parameters. We have developed a new capacitive coupling system for creative design and application of complex film systems in smartt materials. The internal setup of our deposition chamber using plan-parallel electrodes was derived from a typical capacitive coupling system, but our apparatus was equipped with many non-standard components. (en)
- Technologie přípravy plazmových polymerů již nachází uplatnění v mnoha aplikacích, přesto mnohá vědecká pracoviště zdokonalují své depoziční systémy a hledají tak další možnosti využití této mocné metody. Většina PE CVD aparatur se potýká s problémy související s kvalitou vakua, reprodukovatelností přípravy vrstev a geometrickým omezením již vyrobeného systému. Z těchto důvodů vznikl návrh depozičního systému, jejíž vnitřní geometrické uspořádání reaktoru sice vychází z typické koncepce kapacitně vázanýých plan-paralelních systémů, aparatura je však vybavena velkým množstvím nadstandardních prvků. Speciální konstrukce spodní otočné elektrody umožňuje temperování vzorků v rozmezí teplot -100°C - 300°C. Diferenčně čerpaná komora se speciálním zásobníkemv koordinaci s otočnou elektrodou umožňuje vkládat vzorky magnetickým transporterem bez nárůstu tlaku v reaktoru a tedy bez jeho kontaminace. K systému je připojen RF-generátor o výkonu 1000W a v pulsním režimu tak díky posuvné horní %22shower%22 elektrodě u (cs)
|
Title
| - Capacitive coupling plasma system for thin film deposition
- Capacitive coupling plasma system for thin film deposition (en)
- Systém s kapacitně vázaným výbojem pro depozici tenkých vrstev (cs)
|
skos:prefLabel
| - Capacitive coupling plasma system for thin film deposition
- Capacitive coupling plasma system for thin film deposition (en)
- Systém s kapacitně vázaným výbojem pro depozici tenkých vrstev (cs)
|
skos:notation
| - RIV/00216305:26310/04:PU49382!RIV/2005/MSM/263105/N
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/00216305:26310/04:PU49382
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - PECVD, plasma technology, capacitive coupling system (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
| |
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - 1st Workshop %22Structuring of Polymers%22
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Přikryl, Radek
- Čech, Vladimír
- Hedbavny, Pavel
|
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
| |
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
| |
number of pages
| |
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |