About: Micromanipulator for photolithography

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Micromanipulator for photolithography Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
rdfs:seeAlso	http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=16
Description	Equipment for precise particulars matching substrate fotomaskou for photolithography. It includes manipulators with přesnotí 0.5 um. The device is designed for 4-inch silicon wafer and the fixation device is placed precisely etched plate. (en) Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela. Zařízení pro přené sesouhlasení substrátu s fotomaskou pro fotolitografii. Obsahuje manipulátory s přesnotí 0,5 um. Zařízení je navrženo pro 4 palcové křemíkové desky a pro jejich fixaci je v zařízení umístěna přesně vyleptaná lamela. (cs)
Title	Micromanipulator for photolithography (en) Mikromanipulátor pro fotolitografii Mikromanipulátor pro fotolitografii (cs)
skos:prefLabel	Micromanipulator for photolithography (en) Mikromanipulátor pro fotolitografii Mikromanipulátor pro fotolitografii (cs)
skos:notation	RIV/00216305:26220/11:PR25671!RIV13-AV0-26220___
http://linked.open...avai/predkladatel	Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GA102/08/1546), P(KAN208130801), Z(MSM0021630503)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Hrdý, Radim Hubálek, Jaromír
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...onomickeParametry	Celková cena: X?.- ---------------------------------------------- materiál nerezová ocel - mikroposuvy 3x - neodymové magnety 6x - nerezové lišty 2x - lamela - výroba: 20000 tis. Kč
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoké učení technické v Brně / Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
http://linked.open...dnocenehoVysledku	212480
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216305:26220/11:PR25671
http://linked.open...terniIdentifikace	Mikromanipulátor
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Micromanipulating. photolithography, silicon substrate (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Micromanipulating. photolithography silicon substrate
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[AFFBDDAC8490]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	New design and exploiting nanobiosensors and nanosensors to target medicine (NANOSEMED) Miniaturized intelligent systems and nanostructured elektrodes for chemical, biological, and pharmaceutical applications (NANIMEL)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2011
http://linked.open...echnickeParametry	Zařízení slouží pouze pro potřeby LabSensNano, VUT, tj. v Laboratoři mikrosenzorů a nanotechnologií, dosud nebyla uzavřena smlouva na využití třetí stranou. Velikost zařízení: Zařízení se skládá kompaktního rámu v němž jsou umístěny 3 mikroposuvy. Dále 6 neodymových magnetů a 2x ocelové lišty pro fixaci masky
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Hubálek, Jaromír Hrdý, Radim
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	Ústav mikroelektroniky
http://linked.open...itiJinymSubjektem	N - Nabytí licence není nutné (výsledek není licencován)
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích (MIKROSYN)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	26220

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software