About: Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	This paper deals with development of a new type of ion source and with testing of its parameters. The ion source is a saddle-field type and is designed primary for sputtering of solid targets by N2+ or Ar+ ions. (en) Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu. Článek se zabývá vývojem nového typu iontového zdroje a testováním jeho parametrů. Jedná se o iontový zdroj se sedlovým polem, který je určen primárně pro odprašování vzorků ionty N2+ či Ar+. Hlavním rozdílem vytvořeného zdroje oproti klasickým iontovým zdrojům se sedlovým polem je použití žhavené wolframové katody, což vede ke zvýšení elektronového proudu v ionizační oblasti. V článku je popsán simulační model vytvořený v programu Electron Optical Design, pomocí něhož je také určena teoretická účinnost iontového zdroje. Dále je popsán konstrukční návrh a nejdůležitější prvky zdroje. Článek se také věnuje testování a optimalizaci prototypu iontového zdroje, zejména pak měření velikosti vystupujícího iontového proudu. (cs)
Title	Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode (en) Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou (cs)
skos:prefLabel	Design of an ion beam source with saddle field and thermionic cathode (en) Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou Návrh iontového zdroje se sedlovým polem a žhavenou katodou (cs)
skos:notation	RIV/00216305:26210/14:PU109899!RIV15-MSM-26210___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P S
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(ED1.1.00/02.0068), P(EE2.3.35.0004), P(GPP108/12/P699), S
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	6-7
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2015
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Kolíbal, Miroslav Mach, Jindřich Šikola, Tomáš Zlámal, Jakub Glajc, Petr
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství
http://linked.open...dnocenehoVysledku	31790
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216305:26210/14:PU109899
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Ion source, Saddle field, Heated cathode, Sputtering, EOD (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Sputtering EOD Heated cathode Ion source Saddle field
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[551CBD098A64]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BM
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Central european institute of technology Fabrication of semiconductor nanowires with optimized functional properties Popularization of BUT R&D results and support systematic collaboration with Czech students
http://linked.open...UplatneniVysledku	2014
http://linked.open...v/svazekPeriodika	59
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Kolíbal, Miroslav Mach, Jindřich Zlámal, Jakub Šikola, Tomáš Glajc, Petr
issn	0447-6441
number of pages	3 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	26210

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software