Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - V článku je popsáno využití zařízení pro in situ monitorování homogenity optických parametrů pomocí spektroskopické interferometrie. K detekci odraženého světla je použita kombinace CCD kamery a vláknového spektrometru. Provedená ex situ měření ukázala použitelnost této metody ke sledování růstu tenkých slabě absorbujících vrstev přímo v průběhu jejich depozice.
- In the paper the basic principles of an instrument for the monitoring of areal homogenity of thickness and optical properties of thin films developed in the Institute of Physical Engineering at Brno University of Technology are reported. A special attention is paid ti applications of the instrument for in situ experiments carried out in a high-vacuum etching and deposition apparaturus IBAD (en)
|
Title
| - In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev
- In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev (cs)
- In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters (en)
|
skos:prefLabel
| - In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev
- In situ plošné monitorování optických parametrů tenkých vrstev (cs)
- In situ Monitoring of Thin Film Optical Parameters (en)
|
skos:notation
| - RIV/00216305:26210/01:PU22041!RIV/2002/GA0/262102/N
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(GA101/98/0772), P(PG98377), Z(MSM 262100002)
|
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/00216305:26210/01:PU22041
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - IBAD, homogenity, thin films (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...ocetUcastnikuAkce
| |
http://linked.open...nichUcastnikuAkce
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...v/svazekPeriodika
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Chmelík, Radim
- Spousta, Jiří
- Zlámal, Jakub
- Šikola, Tomáš
- Urbánek, Michal
- Jiruše, Jaroslav
- Jákl, Miloš
- Harna, Zdeněk
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |