About: SOI Structures for Advanced Semiconductor Applications

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: SOI Structures for Advanced Semiconductor Applications Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=TA01010078
Description	1) Applied research of advanced semiconductor materials and structures and experimental development of technologies for their manufacturing, especially advanced technology of Silicon-On-Insulator (SOI) manufacturing and bonding of silicon wafers for SOI. 2) Applied research and development of advanced methods for characterization of bulk and surface properties of semiconductor materials and structures (IR checking of bonding quality, complex metrology of SOI, measurement of minor carrier lifetime). (en) 1) Aplikovaný výzkum progresivních polovodičových materiálů a struktur a experimentální vývoj technologií jejich výroby se zaměřením na pokročilou technologii výroby Silicon-On-Insulator (SOI) a na bonding křemíkových desek pro SOI. 2) Aplikovaný výzkum a vývoj nových metod charakterizace objemových i povrchových vlastností polovodičových materiálů a struktur (IR kamera pro měření kvality bondingu, komplexní metrologie struktury SOI, měření doby života minoritních nositelů náboje).
Title	SOI Structures for Advanced Semiconductor Applications (en) Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace
skos:notation	TA01010078
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Programme of applied research and experimental development ALFA
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/TA01010078/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/TA01010078/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2015-05-26 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	100602742
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	JJ - Ostatní materiály
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	VV - Vývoj
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	BGSOI; BESOI; BOX; bonding; grinding; Silicon; silicon wafer; etchning; polishing; semiconductors; SOI; SOI wafer (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o., právní nástupce
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	16 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	16 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2013-02-28 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/20110001
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2013
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2014
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	STA02011TA01
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2013-12-31 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2011-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	The main factual results (G-functional sample / prototype Z-proven technology) have been met at a high technical level and to the extent necessary for the successful implementation of the project in excess of the original assignment. Two P- patents weren´t obtained by the date of the final proceedings. (en) Hlavní věcné výsledky (G-funkční vzorek/prototyp, Z-ověřená technologie) byly splněny na vysoké technické úrovni a v rozsahu potřebném pro úspěšnou realizaci projektu překračujícím původní zadání. Dva výsledky druhu P-patent nebyly dosaženy k datu závěrečného oponentního řízení. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	BGSOI BESOI BOX SOI Silicon bonding etchning grinding polishing semiconductors silicon wafer
is void:exampleResource of	R&D Projects
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	BGSOI WAFER FOR ULTRA FS IGBT Optimization of the bond and etch-back silicon-on-insulator manufacturing processes I3T/SOI<110> 200 MM BGSOI WAFER 200 MM BESOI WAFER Direct wafer bonding for SOI DEMO SAMPLE (PROTOTYPE) BESOI/1um WAFER DEMO SAMPLE (PROTOTYPE ) – V001/TA01010078 - W750S01/S00 SOI Wafers / 3 µm SOI / Silicon on Insulator on Insulator Polycrystalline silicon layers with enhanced thermal stability Advanced BGSOI Technology Advanced BESOI Technology HFVR/SOI Lattice constants and optical response of pseudomorph Si-rich SiGe:B Apparatus for measuring recombinant processes in silicon epitaxial layers Apparatus to measure thickness of SOI semiconductor layered structures
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2011/ico%3A26821532 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2011/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2012/ico%3A26821532 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2012/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2013/ico%3A26821532 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2013/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2014/ico%3A26821532 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/TA01010078/2014/orjk%3A14310

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software