| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:seeAlso
| |
| Description
| - Various excitation methods such as radiofrequency, microvawe and various pulsed generations are frquently used in plasma processing. The method of plasma excitation influences the internal plasma parameters. which determine the properties of the deposited film. The aim of the proposed project is the investigation of plasma parameters of various deposition systems and to corelate these parameters with properties of deposited films. Radiofrequency, microvawe and pulsed plasmas together with low ang high pressure plasma jet will be predominately investigated. The internal plasma parameters will be measured using probe technique, ion flux monitor and optical emission spectroscopy. FTIR, ESCA, SEM and FTM will be mainly used for thin-film analyse. (en)
- Při depozičních plazmových procesech se využívá různorodých typů excitace plazmatu, jako např. vysokofrekvenční a mikrovlnné výboje, pulsní výpoje. Na typu excitace plazmatu jsou závislé základní parametry plamatu, které následně určují vlastnosti deponovaných vrstev. Záměrem projektu je studium interních parametrů plasmatu v různých systémech a porovnání těchto parametrů s vlastnostmi deponovaných vrstev. Pozornost bude věnována především vysokofrekvenčnímu, mikrovlnnému a pulsně generovanému plazmatu a nízkotlakému a vysokotlakému plasma jetu. Ke studiu bude využito především Langmuirovské sondy, monitoru toku iontů na substrát a optické spektroskopie. Vrstvy budou skoumány především následujícími metodami: FTIR, ESCA, SEM, FTM
|
| Title
| - Investigation of the influence of the discharge excitation type on the properties of the deposited films (en)
- Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev
|
| skos:notation
| |
| http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
| http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
| http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
| http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
| http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
| http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
| http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
| http://linked.open...hodnoceniProjektu
| |
| http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
| http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - plasma polymerization, PECVD, plasma diagnostics (en)
|
| http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
| http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
| http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
| http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
| http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
| http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
| http://linked.open...okUkonceniPodpory
| |
| http://linked.open...okZahajeniPodpory
| |
| http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
| http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
| http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
| http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
| http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
| http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
| |
| http://linked.open...jektu+dodavatelem
| - Bude dopněno po dodání dat řešitelem (cs)
- It will completion after delivery data fellow (en)
|
| http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
| http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| - plasma polymerization
- PECVD
|
| is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)