We plan to develop and to use some infrared spectrometric diagnostics method for : 1.investigation of plasma polymer samples in situ, i.e. without breaking vacuum, immediately after their deposition; 2. Performation of FTIR spectrometry for diagnostics of the films during the deposition; 3. Use of FTIR spectrometry for plasma diagnostics during the polymerization process. Investigated samples: plasma polymers prepared from n-hexan vapour; composite semiconductor/plasma polymer; composite metal/plasma polymer. (en)
Plánujeme vývoj a užití infračervených spektrometrických diagnostických metod pro studium procesů při plasmové polymeraci: 1.studovat vzorky plasmových polymerů in situ, tj. bez přerušení vakua ihned po depozici; ; 2. použít FTIR spektrometrii pro diagnostiku vrstev během depozice; 3. použít FTIR spektrometrii pro diagnostiku plasmy během polymerizačního procesu. Studované vzorky: plasmové polymery připravené z par n-hexanu; kompozitní materiály polovodič/plasmový polymer ; kompozitní materiály kov/plasmový polymer.
FTIR spektroskopie in situ byla využita pro charakterizaci plynných i pevných produktů plasmové polymerace probíhající v nízkotlakém výboji v poli magnetronu při odprašování kovové elektrody.. 2 publikace, 8 příspěvků na konferencích (cs)
FTIR spectroscopy in situ was used to characterize gaseous and solid products of plasma polymerization in low pressure discharge in field of magnetron with metal electrode sputtering.. 2 publications, 8 conference contributions (en)