Goal of project is to find new resources of plasma for creation of thiny layers.Spetial attention will be paid on improvement of screations speed and on revelation of processes,which are happening during layers preparation. (en)
Předmětem navrženého projektu je výzkum nových systémů pro přípravu tenkých vrstev v plazmatu s cílem vytvořit nové materiály unikátních vlastností, objasnit složité procesy při jejich přípravě a zvýšit rychlost jejich vytváření.
new resources of plasma for creation of thiny layers; improvement of screations speed; revelation of processes,which are happening during layers preparation (en)
Byly získány nové výsledky v obl. vysokovýkonového pulzního naprašování vrstev kovů (Cu a Ti) a pulzní reaktivní magnetronové depozice fotokatalytických vrstev Ti02 a vrstev Al-Si-N s vysokou teplotní stabilitou (viz 12 čl. v mezinárodních časopisech). (cs)
New results in the fields of high-power pulsed magnetron sputtering of metallic fílms (Cu,Ti) and of pulsed reactive magnetron deposition of photocatalytic Ti02 fílms and Al-Si-N fílms with high thermal stability were achieved (12papers in inter.joumals) (en)