| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:seeAlso
| |
| Description
| - Cílem Akce CM1301 je pokročit ve výzkumu natolik, aby EU měla realný předpoklad stát se lídrem ve vývoji a průmyslové nanofabrikace. Rozumí se tím dokonalejěí způsob průmyslové výroby chipů, které nacházejí použití např. ve fotovoltaice, medicině, telekomunikacích nebo monitorování životního prostředí, abychom jmenovali alespoň některé aplikace. Součinnost badatelů z komerčních firem a základního výzkumu v jedné Akci je dobrým předpokladem pro bezprostřední přenos znalostí z laboratoří do výrobních zkušeben. Cílem programu našeho předloženého návrhu je přispět k uskutečnění tohoto plánu svou znalostí kvantové teorie elektronového rozptylu a výpočtů námi vyvinutým softwarem. Předmětem našeho výzkumu i celé Akce jsou nanočástice a jejich interakce s elektrony, tedy objekty a jevy mikrosvěta, k jejichž popisu a porozumění je třeba použít metod kvantové teorie. Oprávněně můžeme říci, že jen v málo oborech vědy je tak těsná a plodná spolupráce teorie a experimentu jako v tomto případě. Pracujeme v oboru už řadu let a jsme dobře obeznámeni se stavem výzkumu v Evropě i jinde ve světě. Jsme přijímáni jako odborníci na problematiku elastických a hlavně vibračně neelastických srážek elektronů s polyatomovými molekulami. To se dobře hodí pro záměry Akce CM1301, protože jako perspektivní technologii si Akce zvolila způsob FEBID, ve kterém jsou hnací silou procesu neelastické srážky elektronů s molekulami. Mnohé podrobnosti mechanismu FEBID nejsou ještě dobře známy a k jejich porozumění bude potřeba společného úsilí v teorii i experimentu. Náš vlastní projekt má výhodu oproti projektům experimentálních partnerů v tom, že je finančně nenáročný. Požádovaná dotace pokryje naše potřeby pro úspěšnou realizaci naplánovaných ůkolú.
- The subject of the COST Action CM1301 deals with the development of methods known under the acronym FEBID (Focused Electron Beam Induced Deposition). It concerns the deposition of fragments formed by decomposition of molecules of a volatile precursor on a surface of a solid. The process is induced by an electron beam. The objective is to obtain deposited three-dimensional structures with the size of less than 10 nm, that are used in nanotechnologies. For scientific and commercial success of such a technology (called nanolithography) it is necessary to look for new precursors suitable for FEBID, and by means of both experiment and theory to understand better mechanism of chemical reactions of precursors molecule induced by electron impact. The experience accummulated so far shows that the first step in many of these reactions is initiated by vibrational excitation of molecules by electron impact. The applicant is expert in this field of theoretical chemical physics and because of his recent achievements the coordinator of the Action CM1301, Prof. Petra Swiderek, University of Bremen, invited his team to join the Action. The scope of the Action is largely experimental, with the participation of a few industrial companies. The task of the applicant’s group is to help experimentalists in their search for new precursors and optimum reaction conditions. The tool of the applicant’s group are calculations based on the quantum theory of electron scattering by polyatomic molecules. The aim of this project is to look for optimum electron energy and chemical structure of precursors for their vibrational excitation. (en)
|
| Title
| - Teorie a výpočty elektronového rozptylu pro potřeby nanolitografie
- Theory and calculations of electron scattering for needs of nanolithography (en)
|
| skos:notation
| |
| http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
| http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
| http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
| http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
| http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
| http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
| http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
| http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
| http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - FEBID; calculations of EELS spectra; interaction electron-molecule; vibrational excitation; theory of electron scattering; calculations of electron scattering; resonances (en)
|
| http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
| http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
| http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
| http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
| http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
| http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
| http://linked.open...lneniVMinulemRoce
| |
| http://linked.open.../prideleniPodpory
| |
| http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
| http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
| http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
| http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
| http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
| http://linked.open...ep/ukonceniReseni
| |
| http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
| |
| http://linked.open...ep/zahajeniReseni
| |
| http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
| http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| - vibrational excitation
- calculations of EELS spectra
- calculations of electron scattering
- interaction electron-molecule
- theory of electron scattering
- FEBID
|
| is http://linked.open...vavai/riv/projekt
of | |
| is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)