| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:seeAlso
| |
| Description
| - The project proposal suggests to study multilayers of ultra-thin films with an overall thickness below 10 nm by two complementary non-destructive techniques, such as Angle Resolved XPS (AR XPS) and X-ray Optical Reflectivity (XRR). While the latter technique has already become popular in analysis of multilayers, until now AR XPS has not been used yet in depth profiling of multilayers. To improve depth resolution accuracy of AR XPS (needed for multilayer analysis), a maximum entropy method which is robust to experimental noise and not restricted to small numbers of components will be used for deconvolution of composition depth profiles of multilayers. Applying these two complementary experimental methods, the accuracy of the analysis might be significantly improved. This is especially true for materials, atoms of which chemically react in the area of interfaces and form complex chemical compounds and structures. In the case of successful implementation of this novel approach, geometrical and (en)
- Předkládaný projekt navrhuje studium ultratenkých multivrstev s celkovou tloušťkou pod 10 nm pomocí komplementárního použití dvou nedestruktivních analytických metod, a to úhlově selektivní fotoelektronové spektroskopie (AR XPS) a optické reflexe rtg. záření (XRR). Zatímco XRR se stala populární metodou v analýze multivrstev, AR XPS nebyla dosud použita pro hloubkové profilování v této oblasti. Aby se zvýšilo hloubkové rozlišení AR XPS (což je potřebné pro analýzu multivrstev), bude použita pro dekonvoluci hloubkového profilu chem. složení metoda založená na principu maximální entropie analyzovaných dat. Tato metoda umožňuje získávat profily i z velmi slabých signálů a není omezena malým počtem prvků, jejichž profily chceme získat. Použitím těchto dvou analytických metod se může výrazně zvýšit přesnost analýzy. To platí zvláště v případě materiálů, jejichž atomy vzájemně chemicky reagují v oblasti rozhraní a tvoří složité chemické sloučeniny a struktury. V případě úspěšného zvládnutí tohoto
|
| Title
| - A study of multilayers of ultra-thin films using X-ray photoelectron spectroscopy and x-ray reflectivity (en)
- Studium ultratenkých multivrstev užitím fotoelektronové spektroskopie a optické reflexe rtg. záření
|
| skos:notation
| |
| http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
| http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
| http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
| http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
| http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
| http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
| http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
| http://linked.open...hodnoceniProjektu
| |
| http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
| http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| |
| http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
| http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
| http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
| http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
| http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
| http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
| http://linked.open...okUkonceniPodpory
| |
| http://linked.open...okZahajeniPodpory
| |
| http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
| http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
| http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
| http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
| http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
| http://linked.open...jektu+dodavatelem
| - V souladu s cíli řešeného projektu byla vypracována metoda úhlově rozlišitelné fotoelektronové spektroskopie (AR XPS) využívající principu maxima entropie za účelem rekonstrukce hloubkových profilů ultratenkých vrstev a multivrstev. Bylo provedeno detai (cs)
- In accordance with the project objectives the method of angle-resolved photoelectron spectroscopy (AR XPS) utilizing the principle of maxima entropy for depth profile reconstruction of ultrathin films and multilayers has been developed. A detailed st (en)
|
| http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
| is http://linked.open...vavai/riv/projekt
of | |
| is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)