About: A study of impulse plasmatic systems for deposition of thin layers with applications in photonics

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: A study of impulse plasmatic systems for deposition of thin layers with applications in photonics Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA15-00863S
Description	Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně. The project aims at the experimental research of low temperature pulsed plasma generated in the systems of planar dc-magnetron and hollow cathode plasma jet. Advanced methods of plasma diagnostics will be applied in these deposition systems during the reactive sputtering of dielectric layers. Such systems including those in hybrid arrangement will be optimized for depositions mainly of Fe2O3 or Fe1-xZnxO layers that will be subsequently sulfurized to FeS2 or Fe1-xZnxS, which are prospective materials for cheap production of thin film photovoltaic devices. The research will also pursue the preparation of ZnO, TiO2, etc. thin films as the suitable candidates for creation of heterogeneous P-N junction. The deposited films will be analyzed using a rich set of characterization techniques. We propose the cooperative research of three experienced research partners from the Faculty of Mathematics and Physics of the Charles University in Prague, the Institute of Physics AS CR in Prague and the Faculty of Sciences of Masaryk University in Brno. (en)
Title	A study of impulse plasmatic systems for deposition of thin layers with applications in photonics (en) Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
skos:notation	GA15-00863S
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Standard projects
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA15-00863S/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA15-00863S/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2015-04-23 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	100800508
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	low-temperature plasma, plasma diagnostics, pulsed plasma, planar magnetron, plasma jet, reactive sputtering, pyrite, hematite, photoactive thin films (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Matematicko-fyzikální fakulta
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	2 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	0 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	0 (xsd:int)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/15-00863S
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2015
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2015
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA0201500001
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DRRVZ
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2017-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2015-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	Z
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	low-temperature plasma hematite plasma diagnostics plasma jet pyrite reactive sputtering planar magnetron pulsed plasma
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2015/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2015/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2015/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2016/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2016/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2016/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2017/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2017/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA15-00863S/2017/orjk%3A14310

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software