About: Design and construction of an Ultra-violet optical apparatus for in situ measurements of areal optical homogeneity of thin films prepared by IBAD

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Design and construction of an Ultra-violet optical apparatus for in situ measurements of areal optical homogeneity of thin films prepared by IBAD Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA102/02/0506
Description	The project proposal suggests to design and build an UV optical apparatus for in situ monitoring of areal thickness- and optical homogeneity of thin films. The method and selected UV wavelength region suggested for this task represents an unique approach, which to the best knowledge of the applicant, has not been used for similar in situ applications yet. The main advantage of the use of UV probing light consists in the fact that the changes in the reflectivity in the UV light region are more sensitive to the variations of film thicknesses than in the VIS-light region, particularly in case of thinner films. The project proposal is based on the knowledge and expertise of the applicant's team achieved during a former GACR project aimed at the development of similar apparatus in the VIS-light region. The possible outcome of the project proposal would be a patented design of the PC-controlled instrument working in the UV range (from 200 nm to 400 nm) of the probing light. A significant part of (en) Cílem podávaného projektu je návrh a konstrukce optického měřicího přístroje určeného k in situ monitorování plošné homogenity tloušťky a optických parametrů tenkých vrstev. Zvolená metoda a rozsah vlnových délek použitého světla představují ojedinělý přístup k řešení daného problému, který podle dostupných znalostí členů týmu navrhovatele doposud nebyl k podobným účelům použit. Jednou z velkých výhod užití UV světla je vyšší citlivost závislosti spektrální odrazivosti na změny tloušťky rostoucí (odprašované) tenké vrstvy, než je tomu v případě použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti. Toto platí obzvláště pro velmi tenké vrstvy. Návrh a řešení navrhovaného projektu je založeno na znalostech a poznatcích členů týmu navrhovatele, které byly získány v průběhu úspěšného řešení předchozího projektu GAČR 101/98/0772, který se zabýval vývojem a konstrukcí podobného zařízení pracujícím ve viditelné oblasti spektra. Předpokládaným výstupem navrhovaného projektu by měla být registrace tohoto
Title	Design and construction of an Ultra-violet optical apparatus for in situ measurements of areal optical homogeneity of thin films prepared by IBAD (en) Návrh a konstrukce UV optického měřicího zařízení k in situ monitorování plošné homogenity růstu tenkých vrstev deponovaných metodou IBAD
skos:notation	GA102/02/0506
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Standard projects
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA102%2F02%2F0506/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA102%2F02%2F0506/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2008-06-02 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	1561173
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BH - Optika, masery a lasery
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Neuvedeno. (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fakulta strojního inženýrství
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	6 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	6 (xsd:int)
http://linked.open...okUkonceniPodpory	2004
http://linked.open...okZahajeniPodpory	2002
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2005
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2005
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02002GA-ST
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JB - Senzory, čidla, měření a regulace JR - Ostatní strojírenství
http://linked.open...jektu+dodavatelem	V rámci řešení projektu bylo navrženo, zkonstruováno a testováno několik unikátních optických měřicích přístrojů ke sledování jak ex situ, tak rovněž in situ homogenity růstu tenkých vrstev, které jsou založeny na měření odrazivosti systému substrát - te (cs) Within the frame of the project several unique optical instruments for ex-situ- and in-situ monitoring of growth homogeneity of thin films have been designed, built and tested. Methods are based on the measurement of reflectivity of %22substrate-thin film%22 (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Instrument for thin film diagnostics by UV spectroscopic reflectometry In situ measurements of surface homogeneity of optical parameters of weakly absorbing thin films Instrument for Thin Films Diagnostics by UV Spectroscopic Reflectometry In-situ analysis of PMPSI by spectroscopic ellipsometry and XPS Interface and depth profile analysis of magnetic ultrathin films System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2002/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2002/orjk%3A26210 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2003/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2003/orjk%3A26210 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2004/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2004/orjk%3A26210 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2005/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2005/orjk%3A26210 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2007/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA102%2F02%2F0506/2007/orjk%3A26210

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software