About: Metrology of small structures for the manufacturing of electronic and optical devices

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Metrology of small structures for the manufacturing of electronic and optical devices Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.ptb.de/cms/en/fachabteilungen/abt8/fb-84/ag-841/small-structures.html http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=7AX12105
Description	The aim of the project is to provide a fast and very accurate analysis of geometrical properties of nanostructures usable in industrial processes. For such purposes it is often needed to use a measurement of the light dispersion which provides on some typical samples (such as diffraction gratings) enough information about the morphology of the sample. The objective of this project is therefore to develop robust tools for light dispersion data analysis. As a supplementary method the atomic force microscopy is used which is capable to provide a direct information on morphology. It is however a slower and limited range technique. By comparison of both methods it will be possible to optimalize the process of detection of the surface morphology discovered by the optical technique and to specify particular uncertainties of such measurements. The CMI 's objective in this project is to perform a FDTD (Finite Difference in Time Domain) calculation of the light scattering. (en) Projekt je zaměřen zejména na rychlou a vysoce přesnou analýzu geometrických vlastností nanostruktur, která by byla využitelná v průmyslových procesech. Pro takové účely je často vhodné využívat měření rozptylu světla, které na některých typických strukturách (jako jsou např. difrakční mřížky) samo o sobě poskytuje dostatek informace o morfologii vzorku. Cílem projektu je proto vyvinout robustní nástroje pro analýzu dat z rozptylu světla. Jako doplňující metoda je využita mikroskopie atomárních sil, která je schopna poskytnout informace o morfologii přímo, ač mnohem pomaleji a na menší ploše. Porovnáním obou metod bude možné optimalizovat proces detekce morfologie povrchů z optických dat a stanovit jednotlivé nejistoty při takových měřeních. ČMI se v projektu zaměřuje na výpočty rozptylu metodou FDTD (Finite Difference in Time Domain).
Title	Metrology of small structures for the manufacturing of electronic and optical devices (en) Metrologie malých struktur pro výrobu elektronických a optických zařízení
skos:notation	7AX12105
http://linked.open...avai/cep/aktivita	The sixth framework programme of the European Community for research, technological development and demonstration activities
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/7AX12105/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/7AX12105/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2014-06-12 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	RP - Spolufinancování programu ES
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	100399867
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	JB - Senzory, čidla, měření a regulace
http://linked.open...vai/cep/kategorie	AP - Aplikovaný výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Finite Difference in Time Domain; scatterometry; atomic force microscopy; nanostructures (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Český metrologický institut
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	0 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	0 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2013-03-27 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/MSMT-2490%2F2013-310
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2014
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2014
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DRRVK
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2014-09-30 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BH - Optika, masery a lasery
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2012-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBK
http://linked.open...n/vavai/cep/vyzva	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/vyzva/FP6-2005-Energy-4
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	atomic force microscopy scatterometry Finite Difference in Time Domain
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/7AX12105/2012/ico%3A00177016 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/7AX12105/2013/ico%3A00177016 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/7AX12105/2014/ico%3A00177016

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software