About: Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
Description	Hlavním cílem navrhovaného projektu je konstrukce a optimalizace nového hybridního HiPIMS systému pro depozice nanostrukturovaných perovskitových oxidů PbZrxTi1-xO3 (PZT) pracujícího s vysokým výkonem v krátkém časovém pulzu plazmatu. Hlavním cílem projektu bude výzkum různých kombinací buzení výboje paralelním zapojením pulzních generátorů pracujících na nízkých (10-1000 Hz) a vysokých (50-400 kHz) pulzních frekvencích. Dalším cílem pak bude výzkum různých kombinací plazmových zdrojů jako je planární magnetron a plazmová tryska (pracující s dutou katodou a proudícím plynem) pracujících v HiPIMS módu. Cílem tedy bude nalézt takové podmínky hybridních systémů, umožňující deponovat dostatečně homogenní nanostrukturované tenké vrstvy PZT na kovové nebo dielektrické substráty požadované struktury a stechiometrie co nejvyšší depoziční rychlostí. S tím souvisí nalezení optimálních depozičních podmínek hybridního HiPIMS systému pomocí sofistikovaných diagnostických metod plazmatu. (cs) The main objective of the proposed project is to design and optimize a new hybrid system for HiPIMS deposition of nanostructured perovskite oxides PbZrxTi1-xO3 (PZT) working with high power delivered into the plasma during short time period. The main goal of the project will be research of various combinations of driving discharge pulse generators in parallel connection and working at low (10-1000 Hz) and high (50-400 kHz) frequencies. Another objective of the research will be different combinations of plasma sources such as planar magnetron and plasma jet (operating with hollow cathode) working in HiPIMS mode. The aim therefore is to find such conditions in hybrid systems enabling a deposition of sufficiently homogeneous nanostructured PZT thin films on metal or dielectric substrates of desired structure and stoichiometry and of the highest deposition rate. The aim are related to finding of optimal deposition conditions of hybrid HiPIMS system by using sophisticated plasma diagnostics methods. (en)
Title	Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev (cs) Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films (en)
http://linked.open...vai/cislo-smlouvy	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/smlouva/MSMT-7027/2012-36
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/JA
http://linked.open...avai/druh-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/VS
http://linked.open...domain/vavai/faze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/54634845
http://linked.open...vavai/hlavni-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/BL
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/BM
http://linked.open...vavai/id-aktivity	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/LD
http://linked.open.../vavai/id-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/SMSM2012LD2
http://linked.open...n/vavai/kategorie	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/1
http://linked.open...vai/klicova-slova	perovskite oxide; magnetron; HIPIMS; hollow cathode; nanostructured films; low-temperature plasma; pulsed dc plasma; plasma diagnostics (en)
http://linked.open...avai/konec-reseni	2013-06-30 (xsd:date)
http://linked.open...nujicich-prijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...avai/poskytovatel	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/MSM
http://linked.open...avai/start-reseni	2012-03-01 (xsd:date)
http://linked.open...ai/statni-podpora	618 (xsd:integer)
http://linked.open...vavai/typProjektu	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/P
http://linked.open...ai/uznane-naklady	618 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu	1 (xsd:integer)
http://linked.open...cet-spoluprijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-vysledku	0 (xsd:integer)
http://linked.open...ku-zverejnovanych	0 (xsd:integer)
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2012/LD12002/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2013/LD12002/ico-68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 92 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2025 OpenLink Software