About: Mechanical properties of Si-B-C-N films formed by reactive magnetron sputtering     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Materials of the Si-B-C-N system are of special interest due to ability of these four elements to form short, covalent bonds. The Si-B-C-N films are expected to posses superhardness (i.e. hardness higher than 40 GPa) and also high-temperature oxidationresistance, a low wear rate, a low coefficient of friction, a wide optical transparency window and very good adherence. These properties are extremely interesting from industrial applications point of view (protective coatings, high-temperaturesemiconductors, etc.). The main objective of the proposed project is to contribute to understanding the complex processes of formation of hard Si-B-C-N films by d.c. magnetron sputtering using composed C-Si-B and B4C-Si targets in nitrogen-argon gasmixtures, particularly with respect to complicated correlations between process parameters and elemental composition, structure and mechanical properties (hardness, elasticity, friction coefficient and wear rate) of the formed films. Clarification of (en)
  • Materiály tvořené bórem, uhlíkem, dusíkem a křemíkem mohou vykazovat velmi vysokou tvrdost díky schopnosti těchto lehkých prvků tvořit krátké kovalentní vazby. Jedním z velmi nadějných nových materiálů tohoto typu je kvaternární systém Si-B-C-N, kterýdosud nebyl připraven metodami fyzikální depozice. Kromě supertvrdosti (tvrdost vyšší než 40 GPa) lze v případě vrstev Si-B-C-N očekávat i odolnost proti velmi vysokým teplotám (až do 2000°C), vysokou otěruvzdornost, nízký koeficient tření, vysokouoptickou propustnost a velmi dobrou adhezi, které činí tyto materiály mimořádně zajímavými z hlediska průmyslových aplikací (ochranné povlaky, ale i vysokoteplotní polovodiče). Hlavním cílem předkládaného projektu je přispět k objasnění složitých procesůvytvářenítvrdých vrstev Si-B-C-N stejnosměrným magnetronovým rozprašováním složených terčů C-Si-B, resp. B4C-Si ve výbojové směsi N2+Ar zejména s ohledem na komplikované vztahy mezi procesními parametry a prvkovým složením, strukturou a mechanickými (cs)
Title
  • Mechanické vlastnosti vrstev Si-B-C-N vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním (cs)
  • Mechanical properties of Si-B-C-N films formed by reactive magnetron sputtering (en)
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor
http://linked.open...avai/druh-souteze
http://linked.open...domain/vavai/faze
http://linked.open...vavai/hlavni-obor
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
http://linked.open...vavai/id-aktivity
http://linked.open.../vavai/id-souteze
http://linked.open...n/vavai/kategorie
http://linked.open...vai/klicova-slova
  • Neuvedeno. (en)
http://linked.open...nujicich-prijemcu
http://linked.open...avai/poskytovatel
http://linked.open...ai/statni-podpora
http://linked.open...vavai/typProjektu
http://linked.open...ai/uznane-naklady
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
http://linked.open...cet-spoluprijemcu
http://linked.open...ai/pocet-vysledku
http://linked.open...ku-zverejnovanych
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 32 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software