| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| Description
| - Tento projekt se zaměřuje na růst nanokrystalického diamantu (NCD) z par plynů (CVD) v mikrovlnném plazmatickém systému s lineárními anténami v kombinaci s charakterizací a matematickým modelováním plazmatu. Jako nukleační vrstva budou použity diamantové nanočástice nebo tenké polymerní vrstvy. Parametry CVD procesu (tlak, složení plynů, frekvence a střída mikrovlnných pulzů a teplota substrátu) budou systematicky zkoumány a optimalizovány z pohledu rychlosti růstu a kvality NCD vrstev (tj. chemická čistota, morfologie, velikost zrn). Projekt se také věnuje charakterizaci plazmatického systému v konfiguraci lineárních antén (tzv. plazma s povrchovou vlnou) pomocí časově rozlišené sondové diagnostiky, optické emisní spektroskopie a měření iontového a tepelného toku. Inovativnost projektu spočívá v matematickém modelování uvedeného mikrovlnného systému, v kterém jako vstupní data budou použity procesní parametry a naměřené charakteristiky plazmatu. Tento základní výzkum poskytne komplexní pochopení dějů při růstu NCD vrstev za nízkých tlaků na velkých plochách. (cs)
- The project focuses on nanocrystalline diamond (NCD) growth by advanced linear antenna microwave plasma CVD process combined with plasma characterization and modelling. As the seeding layer, diamond nanoparticles or thin polymers will be employed. CVD growth parameters, i.e. pressure (0.06-5 mbar), gas composition (CH4/CO2/H2), microwave pulse (duty cycle/frequency) and substrate temperature, will be systematically varied to optimize the growth rate and NCD film quality (i.e. chemical purity, morphology, crystal size). In parallel to growth, pulsed surface microwave plasma in the linear antenna configuration will be characterized by time resolved electrostatic probe methods, optical emission measurements and measurements of total energy and ion fluxes. The novelty of project lies on computer modelling (Maxwell's equations coupled to plasma equations) of such microwave plasma system where process parameters and plasma characteristics are used as the input data. This fundamental research study will provide a complex view on NCD growth phenomena at low pressures over large areas. (en)
|
| Title
| - Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev (cs)
- Advanced experimental research of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films (en)
|
| http://linked.open...vai/cislo-smlouvy
| |
| http://linked.open...avai/druh-souteze
| |
| http://linked.open...domain/vavai/faze
| |
| http://linked.open...vavai/hlavni-obor
| |
| http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
| |
| http://linked.open...i/hlavni-ucastnik
| |
| http://linked.open...vavai/id-aktivity
| |
| http://linked.open.../vavai/id-souteze
| |
| http://linked.open...n/vavai/kategorie
| |
| http://linked.open...vai/klicova-slova
| - plasma; surface wave; nanocrystalline diamond; Langmuir probe; OES; ion flux; modelling (en)
|
| http://linked.open...avai/konec-reseni
| |
| http://linked.open...nujicich-prijemcu
| |
| http://linked.open...avai/poskytovatel
| |
| http://linked.open...avai/start-reseni
| |
| http://linked.open...ai/statni-podpora
| |
| http://linked.open...vavai/typProjektu
| |
| http://linked.open...ai/uznane-naklady
| |
| http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
| |
| http://linked.open...cet-spoluprijemcu
| |
| http://linked.open...ai/pocet-vysledku
| |
| http://linked.open...ku-zverejnovanych
| |
| is http://linked.open...ain/vavai/projekt
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)