About: Investigation of physical parameters and optimisation of novel system for plasma surface treatment     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Recently the novel plasma chemical systems (reactors) have been developed. These systems employ the flow of the working gas for creation of the plasma channel: At first the radio frequency low pressure reactor which used the unipolar hollow cathode discharge. Secondly the high pressure unipolar torch discharge has been used as a source of plasmajet channel. From point of view of the thin film deposition it is very perspective to take advantage of a high chemical activity of the RF hollow cathode discharge and develop the multi jet system with hollow cathodes. This system enables to deposit alloy, composite thin films, multi-layer structures or gradient thin films onto flat surfaces, internal walls of cavities, tubes, or on the surface of components with complicated shapes. Up to now the described plasma-chemical systems have been successfully used only for deposition in some particular cases. For optimisation of these plasma-chemical systems it is necessary the other basic and applied (en)
  • V poslední dekádě byly v našich laboratořích vyvinuty plazma chemické systémy (reaktory) ve kterých je plazmový kanál vytvářen pomocí proudícího kanálu pracovního plynu. Kanál pracovního plynu určuje tak tvar plazmatického kanálu. Plazmatický kanál je pagenerován RF polem budící RF výboj: V nízkotlakém RF reaktoru je plazmový kanál generován výbojem v duté katodě, která vzniká ve trysce, kterou proudí pracovní plyn do reaktoru. Ve vysokotlakém systému je plazmový kanál vytvářen RF unipolárním pochodňovývýbojem. Z hlediska depozice tenkých vrstev se ukazuje jako perspektivní reaktor s vícetryskovým systémem vytvářejícím několik plazmových kanálů. Tento systém umožňuje depozici slitinových, kompozitních vrstev a vícevrstevnatých struktur na rovinné substráty, vnitřní stěny dutin a trubic a na substráty komplikovaných tvarů. Dosud byly uvedené systémy převážně používány empiricky při depozici některých tenkých vrstev. Pro optimalizaci systémů je nutný další systematický základní i aplikovaný výzkum: (cs)
Title
  • Studium fyzikálních parametrů a optimalizace nově vyvinutých systémů pro plazmovou modifikaci povrchů (cs)
  • Investigation of physical parameters and optimisation of novel system for plasma surface treatment (en)
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor
http://linked.open...avai/druh-souteze
http://linked.open...domain/vavai/faze
http://linked.open...vavai/hlavni-obor
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
http://linked.open...vavai/id-aktivity
http://linked.open.../vavai/id-souteze
http://linked.open...n/vavai/kategorie
http://linked.open...vai/klicova-slova
  • Neuvedeno. (en)
http://linked.open...nujicich-prijemcu
http://linked.open...avai/poskytovatel
http://linked.open...ai/statni-podpora
http://linked.open...vavai/typProjektu
http://linked.open...ai/uznane-naklady
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
http://linked.open...cet-spoluprijemcu
http://linked.open...ai/pocet-vysledku
http://linked.open...ku-zverejnovanych
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 46 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software