| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| Description
| - Výzkum se bude zabývat rozkladem chlormetylsilanu a 3-silacyklopentenu iniciovaným zářením IČ laseru jako infračervený mnohafotonový rozklad a fotosenzibilovaný (SF6) rozklad.Chemické reakce probíhající v plynné fázi budou studovány ve spojitosti s vlastnostmi pevných filmů deponovaných z plynné fáze na různé substráty.Lze očekávat, že výše uvedené procesy budou probíhat reakčními cestami, které nelze uskutečnit v konvenční tepelné chemii a že získané deposity budou mít slibné vlastnosti (optický přechod, morfologie, stechiometrie), které je budou kvalifikovat pro použití v mikroelektronice.IČ laserově iniciované rozklady budou studovány při různých podmínkách (tlak, dávka záření, vliv inertního plynu) a to dovolí zjistit závislost průběhu rozkladů na těchto podmínkách a optimalizovat oba procesy pro chemickou deposici matriálů o požadovaných vlastnostech. (cs)
- The research will address infrared laser-induced decomposition of (chloromethyl)silane and silacyclopen-3-ene carried out as both IR laser multiphoton decomposition and IR laser photosensitized (SF6) decomposition. Chemistry taking place in the gas phasewill be studied in conjunction with properties of solid films deposited from the gas phase on various substrates.It is expected to that the above processes will occur via pathways not achievevable in conventional thermal chemistry and that the obtained deposits will exhibit promising properties (optical gap, morphology, stoichiometry) which will qualify them for use in microelectronics.The IR laser-induced decompositions will be examined at different conditions (pressure, fluence, effect of inert gas) in order to determine the dependence of their course on these conditions and to optimize these processes for chemical vapour deposition of films which are in demand. (en)
|
| Title
| - Laser photochemistry of (chloromethyl)silane and silacyclo-pent-3-ene for chemical vapour deposition of Si/C/H and Si/H phases (en)
- Laserová fotochemie chlormetylsilanu a silacyklopent-3-enu pro chemickou deposici Si/C/H a Si/H fází z plynné fáze (cs)
|
| http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor
| |
| http://linked.open...avai/druh-souteze
| |
| http://linked.open...domain/vavai/faze
| |
| http://linked.open...vavai/hlavni-obor
| |
| http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
| |
| http://linked.open...vavai/id-aktivity
| |
| http://linked.open.../vavai/id-souteze
| |
| http://linked.open...n/vavai/kategorie
| |
| http://linked.open...vai/klicova-slova
| |
| http://linked.open...nujicich-prijemcu
| |
| http://linked.open...avai/poskytovatel
| |
| http://linked.open...ai/statni-podpora
| |
| http://linked.open...vavai/typProjektu
| |
| http://linked.open...ai/uznane-naklady
| |
| http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
| |
| http://linked.open...cet-spoluprijemcu
| |
| http://linked.open...ai/pocet-vysledku
| |
| http://linked.open...ku-zverejnovanych
| |
| is http://linked.open...ain/vavai/projekt
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)