This project will be focused on additive (electroplating, electrodeposition, anodic oxidation) and subtractive (chemical and electrochemical etching and polishing) wet chemical and electrochemical processes suitable for realisation of high-aspect-ratio (height/width or depth/width) metallic microstructures for microchemical devices. We will combine existing technological steps, modify and optimise some of them, and we will develop and discuss necessary new steps, to give experimental and theoretical background for successful and economically acceptable production of high or deep metallic microstructures. (en)
Projekt je zaměřen na aditivní (galvanické pokovování, elektrodepozice, anodická oxidace) a subtraktivní (leptání a leštění) chemické a elektrochemické procesy pro vytváření kovových mikrostruktur s velkým poměrem výška ku šířce. Budeme kombinovat známé technologické kroky, navrhovat a testovat jejich úpravy a vyvíjet nové technologické postupy a jejich kombinace. Jednotlivé dílčí procesy budou studovány i teoreticky s využitím nástrojů matematického modelování. Hlavním cílem je získání teoretických i praktických poznatků nezbytných pro úspěšnou a ekonomicky přijatelnou produkci mikrozařízení s kovovými mikrostrukturami s velkým poměrem výšky (hloubky) ku šířce. (cs)